-
文
件
编
号
: XA/QWI/7.5.3/14
生
效
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:
2012-9-1
程序文件：
静电接地系统操作规范
版
本：
A
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13
页
1.0
目
的
:
规范
ESD
测试项目正确的测量作业步骤和方法，减少因不同人员测量方法上的差异，
而影响实际
量
测数值之精确度。
2.0
适用范围
:
适用本公司静电防护区域所有需测试项目。
3.0
定义
:
3.1
EPA
：
Electrostatic discharge
Protected Area
静电防护区域
3.2
表面电阻：在一给定的通电时间之后，施加于材料表面
上的标准电极之间的直流电压对于电极之间
的电流的比值，在电极上可能的极化现象忽略
不计。
3.3
体积电阻：
在一给定的通电时间之后，
施加于与一块材料的相对两个面上相接触的两个
引入电极之间
的直流电压对于该两个电极之间的电流的比值，在该两个电极上可能的极化
现象忽略不计。
4.0
权责
:
4.1 IQC
负责静电敏感组件来料包材及自购料辅助材料之
入厂检测项目；
4.2
行政科负责设
备接地主线、静电接地主线、接地桩和防静电地板对地电阻项目测试；
4.3
各部门负责静电皮
/
垫
、静电扣、静电环、静电鞋、静电服
/
帽、流水线体、工作台、
料架
/
周转车、
防静电工作椅、离子风
机、静电地板表面、电烙铁、电动起子等项目测试；
4.4<
/p>
各
EPA
部门主管负责监督本部门人员进
入
EPA
静电环和人体综合电阻测试；
4.5
各
EPA
部门主管负责监控本区域环境温湿度并记录；
4.6
各测试项目负责部门保存相关测试记录；
4
.7
各部门负责本部门
ESD
测试设备
的维护与保养。
5.0
内容：
5.1
包材
/
生产周转辅材表面阻抗测试：
5.1.1 IQC
负责供应商静电敏感组件来料之内包装材料入厂检测，以及气泡袋、
保护膜自购料等包装辅
助材料之入厂检测，
测试设备使用重锤测
试仪，
被测件需放于绝缘台上，
绝缘台的表面电阻和体
积电阻均要大于
1*10
Ω
，
其几何周边尺寸均大于被测材料
100mm
，且两锤之间的间距不小于
300mm
，测试方法如
下：
1
）重锤测试仪
测试线如下图方式连接，将两锤分别放置于被测材料表面；
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）按住
红色按钮“
TEST
”键并保持开始测试，直至上面
LED
不跳动并读数，
LED
假如在
10
8
下方，
则表示被测材料表面电阻为
10
8
< br>Ω
；
3
）防静电包装材料表面阻抗规格具体如下：
ESSD
来料包装辅材：＜
1*10
10
Ω
，气泡袋：
1*10
4
~1*10
11
Ω
；保护膜：＜
1*10
9
Ω
；泡棉垫＜
1*10
10
Ω
,Tray
盘
:1*10
4
~1*10
11
Ω
检验员需将测量结果记录于检验报告中。
5.2
静电皮
/
垫与静电线导通、表面阻抗测试；静电支线（含静电扣）导通测试：
5.2.1
各部门负责静电皮之体积电阻和表面阻抗测试，
测试设备使用重锤测试仪，
测试方法与步骤如下：
< br>
1
）重锤测试仪测试线如下图
方式连接，表面电阻测试如下左图所示将两锤分别放置于被测材料表
面，
两锤之间的间距不小于
300mm
；体积电阻测试如下
右图所示将一锤放置于被测静电皮上，
另
一锤放置于静电地板上
，测静电皮体积电阻时工作台本身对地电阻需满足标准要求（工作台对
静电地板电阻测试
见
5.4
），两锤之间的间距不小于
5
00mm
；
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）按住红色按钮“
TEST
”键并保持开始测试，直至
LED
不跳动并读
数；
3
）
静电皮
/
垫之体积电阻和表面阻抗规格
为
1*10
4
～
1*10
9
Ω
，
测试结束后即将测试值记录于
【静电
皮阻抗测试记录表】上
，并注明测试日期，各部门负责记录之保存。
5.2.2 <
/p>
各部门负责静电支线（静电扣）导通测试，测试设备使用万用表，测试方法与步骤如下：<
/p>
1
）打开万用表开关，将测
试档位调整到“
200
Ω
”档；
2
）将万用表的测试线一端接触
一静电支线，另一测试线端接触另一静电支线金属线部位，读取
电阻值。
3
）测试完关闭万用表开关。
4
）各部门测试人员需将测试数据记录于
【静电线阻抗测试记录表】并
保存，测试结果如大于
4
Ω
，
各部门自行负责进行检修
5.2.3
测量结果记录于检验报告中，
测试结果如判定合格
，
需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测
试有效期限，如测
试后判定不合格，由各部门负责进行检修或按更换，修理或更换后需经再测试
合格后方可
投入使用。
5.3
静
电服
/
帽子
/
手套表面阻抗测试：
5.3.1
各部
门负责静电服和帽子之表面阻抗测量，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，
绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于
1*10
13
Ω
，要有足够的尺寸，点对点测量至少要测量
3
个不
同位置的值，且两锤之间的间距不小于
300mm
，点对点表面阻抗测量是指内表面和外表面之间的
电阻，测试方法与步骤如下：
1
）
准备工作：
被测试静电服
/
帽子应预先洗净。
洗涤后的静电服帽，
在
60
±
10
℃温度下干燥
1h
后，
测试
静电支线导通测试
万用表两侧头测试置位置
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以模拟穿用状态（正面朝外，扣上纽扣、拉锁），在常温下静置
24h
。
2
）将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，分别将重锤测试仪两锤放置于静电服内表面和外
表面上（如下图），连接两个电极的轴线应与服装纤维的轴线方向不同。
3
）将重锤测试仪测试档打到“
100V
”
档位
，按住红色按钮“
TEST
”键并保持开始测试，直至有
读数显示后方可松开按键并读数。
4
）静电服帽表面阻抗电阻规格为
1*10
～<
/p>
1*10
Ω
。
测试静电服表面阻抗
重锤测试仪两重锤放置位置
接缝
6
11
E
电极
1
A
B
D
重锤测试仪
C
电极
2<
/p>
5
）测试结束后即将测试值记录于【静
电服
/
帽阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负
责记录之保存。
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）测试频率及检验样本要求：
每三个
月需对全厂人员抽测一次，抽检样本为总人数的
5%
，新购服<
/p>
装需进行抽测合格后再发放各单位人员。
7
）测试不合格静电服帽需要求淘汰更换新的合格静电服帽。
5.4
周转车
/
料架、工作台与静电地板导通状况测试：
5.4.1
各部门负责周转车、料架及工作台对防静电地板之阻抗测试，测试设备使用重锤测试仪，测试
方
法与步骤如下：
1
）将重锤测试仪一端垫一块导电薄片材料，使其与防静电地板充分紧密接触；
电极
1
重锤测试仪
重锤测试
仪
电极
1
防静电工作台
电极
2
电极
2
导电薄片材料
导电薄片材料
导静电地脚螺栓
导静电地面
2
）
将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，
分别将重锤测试仪两锤放
置于导电薄片材料和周转
车、料架、工作台表面上（如上图），有铺防静电皮之工作台或
台车，需将置于台面的一重锤
放置于静电皮上；
重锤测试仪
腕带插孔
测试电极
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）将重
锤测试仪测试档打到“
100V
”
<
/p>
档位，按住红色按钮“
TEST
”键并保
持开始测试，直至有
读数显示后方可松开按键，显示值如为“
7
.5 E 8
”，则其读数以及周转车、料架车、工作台
对地板
电阻表示为“
7.5*10
Ω
”；
4
）
测试时双
手不可接触重锤测试仪背面两电极，
或是将重锤测试仪仪表部分置于绝缘体上进行测
试。
5
）周转车
、料架车、工作台对地板电阻规格为
1*10
4
Ω
～
1*10
9
Ω
。
6
< br>）测试结束后即将测试值记录于【台车阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录
< p>之保存。
7
）测试频率
及检验样本要求：每周需测试一次，静电防护区域场所周转车、料架车、工作台对地
板电
阻需全部进行检测，新购入之工作台
/
车需测试合格后才可验收
投入使用。
8
）测试后如判定合格，
需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测试有效期限，
如测试
后判定不
合格，
由各部门人员对其进行作相关标识要求停止使用
，
并负责进行检修，
修理后需经再测试
合格后方可投入使用。
5.5
流水线
(
传送带对地电阻
< br>/
流水线体接地
)
5.4.1
传送带对地电阻
:
使用重锤式表面阻抗测试仪，一重锤放置于待测之传送带上，另一重锤放置
于静电地板上进行测试。其范围：
1*10
4
～
1*10
9
Ω
。各部门测试人员需将测试数据记录于相应表
单并保存，测试
结果如不在此范围内，各部门负责对此流水线进行检修，在检修后需重新确认。
8
测试传送带对地电阻
重锤测试仪两重锤放置位置
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