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发表于
: 2007-4-20 08:54
作者
: cecilcxm
来源
:
半导体技术天地
Abbreviation
Full Name
中
文
說
明
HVAC
CUP
Central Utility Plant
中央動力廠房
GEX
General EXhaust
普通及熱排氣
SEX
Scrubber EXhaust
酸排氣
VEX
Volatile orgaic compound EXhaust
有機溶劑排
AEX
Ammonia
EXhaust
鹼性排氣
PCW
Plant Cooling Water
工藝冷卻水
PV
Process Vacuum
工藝真空
HV
House Vacuum
真空吸塵
CW
City Water
自來水
FMCS
Faility
Monitoring Contro System
廠務監控系統
MCC
Motor Control Center
馬達控制中心
VFD
Variable Frequency Device
變頻
CCTV
Close Circuit
Televsion
閉路電視
PA
Public Adress system
廣播系統
FA
Fire Alarm system
火災報警系統
UPW
Ultra Pure Water
超純水
FWW
Fluoride
Waste Water
低濃度氫氟酸廢水
IWW
Industry Waste Water
工業廢水
OWW
Organic Waste Water
有機溶劑廢水
DAHW
Drain Amonia Hydride
Waste
含氨廢水
RCL
Recycle water
製程回收循環水
RCM
Reclaim water
製程回收再利用水
HFW
High Fluoride Waste water
高濃度氫氟酸廢水
BGW
Backgriding Waste water
晶背研磨廢
SAW
Sulfuric Acid Waste water
硫酸廢
PAW
Phosphoric Acid Waste
water
磷酸廢液
SW
Stripper Waste water
剝離液廢液
TW
Thinner Waste water
清洗廢
PIX
Pix waste water
PIX
廢
SLOW
Oxide slurry waste water
介電質研磨廢水
SLWP
Metal slurry
waste water
金屬研磨廢
SLWP
Poly slurry waste water
多晶硅研磨廢水
PN2
Process N2
製程用氮氣
GN2
General N2
一般用氮氣
CDA
Compressor
Dry Air
壓縮乾燥空氣
VMB
Valve Manifold Box
閥箱
空調系統
AHU
Air Handling Unit
空调箱
MAU
Make-up Air Unit
外气空调箱
VAV
Variable Air Volume box
可变风量风
FFU
Fan Filter Unit
风车过滤器
HEPA
High Efficiency Particulate Filter
高效率过滤
ULPA
Ultra Low Penetration Filter
超高效率过滤器
A/S
Air Shower
空气浴尘室
CUP
Central Utility Plant
中央動力廠房
電力系統
FMCS
Faility Monitoring Control
System
廠務監控系統
MCC
Motor Control Center
馬達控制中心
VFD
Variable Frequency Device
變頻器
CCTV
Close Circuit Televsion
閉路電視
SCADA
Supervisory Control And Data
Acquisition
监视控制和数据搜集系
MCC
Motor Control Center
馬達控制中心
VFD
Variable Frequency Device
變頻器
水處理系統
UPW
Ultra Pure Water
超純水
RO
Reverse Osmosis
逆滲透膜
TOC
Total Organic Carbon
總有機碳
MB
Mixed Bed
混床
UF
UltraFiltration
超濾
SC
Strong Cation
強陽離子
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