-
1
.
a
c
c
e
p
< br>t
a
n
c
e
t
e
s
t
i
n
g
p>
(
W
A
T
:
w
a
f
e
r
< br>
a
c
c
e
p
t
a
n
c
e
t
p>
e
s
t
i
n
g
)
3
.
p>
A
C
C
E
S
S
:
一
个
E
D
A
< br>(
E
n
g
i
n
e
e
r
i
n
g
p>
D
a
t
a
A
n
a
l
y
s
i
< br>s
)
系
统
6
.
A
l
i
g
p>
n
m
a
r
k
(
k
e
y
)
:
< br>对
位
标
记
9
.
A
m
m
o
p>
n
i
a
氨
1
0
.
p>
A
m
m
o
n
i
u
m
f
l
u
< br>o
r
i
d
e
氟
化
铵
1
1
.
p>
A
m
m
o
n
i
u
m
h
y
d
< br>r
o
x
i
d
e
氢
氧
化
铵
1
2
.
p>
A
m
o
r
p
h
o
u
s
s
i
< br>l
i
c
o
n
:
α
-
S
i
,
非
晶
p>
硅
(
不
是
多
晶
硅
)
1
3
.
p>
A
n
a
l
o
g
:
模
拟
的
1
4
.
p>
A
n
g
s
t
r
o
m
1
5
.
p>
A
n
i
s
o
t
r
o
p
i
c
:
< br>各
向
异
性
(
如
P
O
L
Y
E
T
p>
C
H
1
6
.
p>
A
Q
L
(
A
c
c
e
p
t
a
n
< br>c
e
Q
u
a
l
i
t
y
L
e
p>
v
e
l
)
:
接
受
质
量
标
准
,
< br>在
一
定
采
样
下
,
可
以
9
5
%
臵
p>
信
度
通
过
质
量
标
准
(
不
同
于
< br>可
靠
性
,
可
靠
性
要
求
一
定
时
间
p>
后
的
失
效
率
)
1
7
.
p>
A
R
C
(
A
n
t
i
r
e
f
l
< br>e
c
t
i
v
e
c
o
a
t
i
n
p>
g
)
:
抗
反
射
层
(
用
于
M
E
< br>T
A
L
等
层
的
光
刻
)
1
8
.
p>
A
n
t
i
m
o
n
y
(
S
b
)
< br>锑
2
2
.
p>
A
r
s
i
n
e
2
4
.
p>
A
s
p
e
c
t
r
a
t
i
o
< br>n
:
形
貌
比
(
E
T
C
H
中
的
深
p>
度
、
宽
度
比
)
2
5
.
p>
A
u
t
o
d
o
p
i
n
g
:
< br>自
搀
杂
(
外
延
时
S
U
B
的
浓
度
p>
高
,
导
致
有
杂
质
蒸
发
到
环
境
< br>中
后
,
又
回
掺
到
外
延
层
)
2
8
.
p>
B
e
n
c
h
m
a
r
k
:
基
准
< br>
3
0
.
p>
B
o
a
t
:
扩
散
用
(
石
英
)
< br>舟
3
2
.
p>
C
h
a
r
a
c
t
e
r
w
i
< br>n
d
o
w
:
特
征
窗
口
。
用
文
字
p>
或
数
字
描
述
的
包
含
工
艺
所
有
< br>特
性
的
一
个
方
形
区
域
。
3
6
.
p>
C
I
M
:
c
o
m
p
u
t
e
r
< br>-
i
n
t
e
g
r
a
t
e
d
m
p>
a
n
u
f
a
c
t
u
r
i
n
g
< br>的
缩
写
。
用
计
算
机
控
制
和
监
控
p>
制
造
工
艺
的
一
种
综
合
方
式
。
< br>
3
9
.
p>
C
o
m
p
e
n
s
a
t
i
o
n
< br>
d
o
p
i
n
g
:
补
偿
掺
杂
。
p>
向
P
型
半
导
体
掺
入
施
主
杂
质
< br>或
向
N
型
掺
入
受
主
杂
质
。
4
0
.
p>
C
M
O
S
:
c
o
m
p
l
e
m
< br>e
n
t
a
r
y
m
e
t
a
l
p>
o
x
i
d
e
s
e
m
i
c
o
< br>n
d
u
c
t
o
r
的
缩
写
。
一
种
p>
将
P
M
O
S
和
N
M
O
S
在
同
< br>一
个
硅
衬
底
上
混
合
制
造
的
工
艺
p>
。
4
1
.
p>
C
o
m
p
u
t
e
r
-
a
i
d
< br>e
d
d
e
s
i
g
n
(
C
A
D
p>
)
:
计
算
机
辅
助
设
计
。
4
2
.
p>
C
o
n
d
u
c
t
i
v
i
t
y
< br>
t
y
p
e
:
传
导
类
型
,
由
多
p>
数
载
流
子
决
定
。
在
N
型
材
料
< br>中
多
数
载
流
子
是
电
子
,
在
P
型
p>
材
料
中
多
数
载
流
子
是
空
穴
。
< br>
4
3
.
p>
C
o
n
t
a
c
t
:
孔
。
在
工
< br>艺
中
通
常
指
孔
1
,
即
连
接
铝
和
p>
硅
的
孔
。
4
4
.
p>
C
o
n
t
r
o
l
c
h
a
r
< br>t
:
控
制
图
。
一
种
用
统
计
数
据
p>
描
述
的
可
以
代
表
工
艺
某
种
性
< br>质
的
曲
线
图
表
。
4
5
.
p>
C
o
r
r
e
l
a
t
i
o
n
:
< br>相
关
性
。
4
6
.
C
p
:
工
p>
艺
能
力
,
详
见
p
r
o
c
e
s
< br>s
c
a
p
a
b
i
l
i
t
y
。
p>
4
7
.
p>
C
p
k
:
工
艺
能
力
指
数
,
详
< br>见
p
r
o
c
e
s
s
c
a
p
a
p>
b
i
l
i
t
y
i
n
d
e
x
< br>。
4
8
.
p>
C
y
c
l
e
t
i
m
e
:
圆
< br>片
做
完
某
段
工
艺
或
设
定
工
艺
段
p>
所
需
要
的
时
间
。
4
9
.
p>
D
a
m
a
g
e
:
损
伤
。
5
0
.
p>
D
e
f
e
c
t
d
e
n
s
i
< br>t
y
:
缺
陷
密
度
。
单
位
面
积
内
p>
的
缺
陷
数
。
5
1
.
p>
D
e
p
l
e
t
i
o
n
i
m
< br>p
l
a
n
t
:
耗
尽
注
入
。
一
种
p>
在
沟
道
中
注
入
离
子
形
成
耗
尽
< br>晶
体
管
的
注
入
工
艺
。
(
耗
尽
晶
p>
体
管
指
在
栅
压
为
零
的
情
况
下
< br>有
电
流
流
过
的
晶
体
管
。
)
5
2
.
p>
D
e
p
l
e
t
i
o
n
l
a
< br>y
e
r
:
耗
尽
层
。
可
动
载
流
子
p>
密
度
远
低
于
施
主
和
受
主
的
固
< br>定
电
荷
密
度
的
区
域
。
5
3
.
p>
D
e
p
l
e
t
i
o
n
w
i
< br>d
t
h
:
耗
尽
宽
度
。
5
5
.
p>
D
e
p
t
h
o
f
f
p>
o
c
u
s
(
D
O
F
)
:
焦
深
< br>。
5
6
.
p>
d
e
s
i
g
n
o
f
e
p>
x
p
e
r
i
m
e
n
t
s
(
< br>D
O
E
)
:
为
了
达
到
费
用
最
小
p>
化
、
降
低
试
验
错
误
、
以
及
保
< br>证
数
据
结
果
的
统
计
合
理
性
等
目
p>
的
,
所
设
计
的
初
始
工
程
批
试
< br>验
计
划
。
5
8
.
p>
d
e
v
e
l
o
p
e
r
:
Ⅰ
)
< br>显
影
设
备
;
Ⅱ
)
显
影
液
5
9
.
p>
d
i
b
o
r
a
n
e
(
B
2
< br>H
6
)
:
乙
硼
烷
,
6
0
.
p>
d
i
c
h
l
o
r
o
m
e
t
h
< br>a
n
e
(
C
H
2
C
L
2
)
:
p>
二
氯
甲
,
一
种
无
色
,
不
可
燃
< br>,
不
可
爆
的
液
体
。
6
1
.
p>
d
i
c
h
l
o
r
o
s
i
l
a
< br>n
e
(
D
S
C
)
:
二
氯
甲
硅
p>
烷
,
一
种
可
燃
,
有
腐
蚀
性
,
< br>无
色
,
在
潮
湿
环
境
下
易
水
解
的
p>
物
质
,
常
用
于
硅
外
延
或
多
晶
< br>硅
的
成
长
,
以
及
用
在
沉
积
二
氧
p>
化
硅
、
氮
化
硅
时
的
化
学
气
氛
< br>中
。
0
6
2
.
p>
d
i
e
:
硅
片
中
一
个
很
小
的
< br>单
位
,
包
括
了
设
计
完
整
的
单
个
p>
芯
片
以
及
芯
片
邻
近
水
平
和
垂
< br>直
方
向
上
的
部
分
划
片
槽
区
域
。
p>
6
3
.
p>
d
i
e
l
e
c
t
r
i
c
:
Ⅰ
< br>)
介
质
,
一
种
绝
缘
材
料
;
6
4
.
p>
d
i
f
f
u
s
e
d
l
a
y
< br>e
r
:
扩
散
层
,
即
杂
质
离
子
通
p>
过
固
态
扩
散
进
入
单
晶
硅
中
,
< br>在
临
近
硅
表
面
的
区
域
形
成
与
衬
p>
底
材
料
反
型
的
杂
质
离
子
层
。
< br>
6
5
.
p>
d
i
s
i
l
a
n
e
(
S
i
< br>2
H
6
)
:
乙
硅
烷
,
一
种
无
色
p>
、
无
腐
蚀
性
、
极
易
燃
的
气
体
< br>,
燃
烧
时
能
产
生
高
火
焰
,
暴
露
p>
在
空
气
中
会
自
燃
。
在
生
产
光
< br>电
单
元
时
,
乙
硅
烷
常
用
于
沉
积
p>
多
晶
硅
薄
膜
。
6
6
.
p>
d
r
i
v
e
-
i
n
6
8
.
p>
e
f
f
e
c
t
i
v
e
l
a
< br>y
e
r
t
h
i
c
k
n
e
s
s
p>
:
有
效
层
厚
,
指
在
外
延
片
制
< br>造
中
,
载
流
子
密
度
在
规
定
范
围
p>
内
的
硅
锭
前
端
的
深
度
。
6
9
.
p>
E
M
:
e
l
e
c
t
r
o
m
i
< br>g
r
a
t
i
o
n
,
电
子
迁
移
,
p>
指
由
通
过
铝
条
的
电
流
导
致
电
< br>子
沿
铝
条
连
线
进
行
的
自
扩
散
过
p>
程
。
7
0
.
p>
e
p
i
t
a
x
i
a
l
l
a
< br>y
e
r
:
外
延
层
。
7
5
.
p>
f
e
a
t
u
r
e
s
i
z
e
< br>:
特
征
尺
寸
,
指
单
个
图
形
的
最
p>
小
物
理
尺
寸
。
7
6
.
p>
f
i
e
l
d
-
e
f
f
e
c
t
< br>
t
r
a
n
s
i
s
t
o
r
(
F
p>
E
T
)
:
场
效
应
管
。
包
含
源
< br>、
漏
、
栅
、
衬
四
端
。
7
8
.
p>
f
l
a
t
:
平
边
7
9
.
p>
f
l
a
t
b
a
n
d
c
a
p
< br>a
c
i
t
a
n
s
e
:
平
带
电
容
p>
8
0
.
p>
f
l
a
t
b
a
n
d
v
o
l
< br>t
a
g
e
:
平
带
电
压
8
1
.
p>
f
l
o
w
c
o
e
f
f
i
c
< br>i
c
e
n
t
:
流
动
系
数
8
2
.
p>
f
l
o
w
v
e
l
o
c
i
t
< br>y
:
流
速
计
8
3
.
p>
f
l
o
w
v
o
l
u
m
e
:
< br>流
量
计
,
8
4
.
p>
f
l
u
x
:
单
位
时
间
内
流
过
< br>给
定
面
积
的
颗
粒
数
8
5
.
p>
f
o
r
b
i
d
d
e
n
e
n
< br>e
r
g
y
g
a
p
:
禁
带
8
6
.
p>
f
o
u
r
-
p
o
i
n
t
p
< br>r
o
b
e
:
四
点
探
针
台
8
7
.
p>
f
u
n
c
t
i
o
n
a
l
a
< br>r
e
a
:
功
能
区
8
9
.
p>
g
l
a
s
s
t
r
a
n
s
i
< br>t
i
o
n
t
e
m
p
e
r
a
t
p>
u
r
e
:
玻
璃
态
转
换
温
度
9
0
.
p>
g
o
w
n
i
n
g
:
净
化
服
9
1
.
p>
g
r
a
y
a
r
e
a
:
灰
区
< br>
9
2
.
p>
g
r
a
z
i
n
g
i
n
c
i
< br>d
e
n
c
e
i
n
t
e
r
f
e
p>
r
o
m
e
t
e
r
:
切
线
入
射
< br>干
涉
仪
9
3
.
p>
h
a
r
d
b
a
k
e
:
后
烘
< br>
9
4
.
p>
h
e
t
e
r
o
e
p
i
t
a
x
< br>y
:
单
晶
长
在
不
同
材
料
的
衬
底
p>
上
的
外
延
方
法
9
5
.
p>
h
i
g
h
-
c
u
r
r
e
n
t
< br>
i
m
p
l
a
n
t
e
r
:
束
电
p>
流
大
于
3
m
a
的
注
入
方
式
,
< br>用
于
批
量
生
产
9
6
.
p>
h
i
g
n
-
e
f
f
i
c
i
e
< br>n
c
y
p
a
r
t
i
c
u
l
a
p>
t
e
a
i
r
(
H
E
P
A
)
< br>
f
i
l
t
e
r
:
高
效
率
空
气
p>
颗
粒
过
滤
器
,
去
掉
9
9
.
9
< br>7
%
的
大
于
0
.
3
u
m
的
颗
粒
p>
!
9
7
.
p>
h
o
s
t
:
主
机
9
8
.
h
o
t
p>
c
a
r
r
i
e
r
s
:
热
载
流
< br>子
9
9
.
p>
h
y
d
r
o
p
h
i
l
i
c
:
< br>亲
水
性
1
0
0
p>
.
h
y
d
r
o
p
h
o
b
i
< br>c
:
疏
水
性
1
0
1
.
i
p>
m
p
u
r
i
t
y
:
杂
质
.
掺
杂
1
p>
0
2
.
i
n
d
u
c
t
i
v
< br>e
c
o
u
p
l
e
d
p
l
a
p>
s
m
a
(
I
C
P
)
:
感
应
等
< br>离
子
体
1
0
3
p>
.
i
n
e
r
t
g
a
s
:
< br>惰
性
气
体
1
0
4
.
i
n
p>
i
t
i
a
l
o
x
i
d
e
:
< br>一
氧
1
0
5
.
i
n
s
u
p>
l
a
t
o
r
:
绝
缘
1
0
< br>6
.
i
s
o
l
a
t
e
d
l
p>
i
n
e
:
隔
离
线
1
0
9
p>
.
j
u
n
c
t
i
o
n
:
结
1
1
0
p>
.
j
u
n
c
t
i
o
n
s
< br>p
i
k
i
n
g
n
:
铝
穿
刺
p>
1
1
1
.
k
e
r
f
< br>:
划
片
槽
1
1
3
.
l
i
p>
t
h
o
g
r
a
p
h
y
n
制
版
p>
1
1
4
.
m
a
i
n
t
a
i
< br>n
a
b
i
l
i
t
y
,
e
q
u
p>
i
p
m
e
n
t
:
设
备
p>
产
能
1
1
6
.
m
a
j
o
< br>r
i
t
y
c
a
r
r
i
e
r
n
:
多
p>
数
载
流
子
1
1
7
.
m
< br>a
s
k
s
,
d
e
v
i
c
e
p>
s
e
r
i
e
s
o
f
n
:
p>
一
成
套
光
刻
版
1
1
8
.
< br>
m
a
t
e
r
i
a
l
n
:
原
料
1
1
9
p>
.
m
a
t
r
i
x
n
1
:
矩
阵
1
2
0
p>
.
m
e
a
n
n
:
平
均
值
1
2
2
p>
.
m
e
d
i
a
n
n
:
< br>中
间
值
1
2
3
p>
.
m
e
m
o
r
y
n
:
记
忆
体
p>
1
2
5
.
n
a
n
o
m
e
t
< br>e
r
(
n
m
)
n
:
纳
米
1
2
6
p>
.
n
a
n
o
s
e
c
o
n
d
< br>
(
n
s
)
n
:
纳
秒
1
2
7
p>
.
n
i
t
r
i
d
e
e
t
< br>c
h
n
:
氮
p>
化
物
刻
蚀
1
3
0
.
o
< br>h
m
s
p
e
r
p>
s
q
u
a
r
e
n
:
欧
姆
每
< br>平
方
:
方
块
电
阻
1
3
1
p>
.
o
r
i
e
n
t
a
t
i
o
< br>n
n
:
晶
p>
向
,
一
组
晶
列
所
指
的
方
向
1
3
2
p>
.
o
v
e
r
l
a
p
n
:
交
迭
区
1
3
4
p>
.
p
h
o
s
p
h
o
r
u
s
< br>
(
P
)
n
:
磷
,
p>
一
种
有
毒
的
非
金
属
元
素
< br>1
3
5
.
p
h
o
t
o
m
a
s
p>
k
n
:
光
刻
版
,
用
于
光
< br>刻
的
版
1
3
6
p>
.
p
h
o
t
o
m
a
s
k
,
< br>
n
e
g
a
t
i
v
e
n
:
反
p>
刻
1
3
7
.
i
m
a
g
< br>e
s
:
去
掉
图
形
区
域
的
版
p>
1
3
8
.
p
h
o
t
o
m
a
< br>s
k
,
p
o
s
i
t
i
v
e
p>
n
:
正
刻
1
3
9
.
p
< br>i
l
o
t
n
:
先
行
批
,
用
p>
以
验
证
该
工
艺
是
否
符
合
规
格
< br>的
片
子
1
4
2
p>
.
p
l
a
s
m
a
-
e
n
h
< br>a
n
c
e
d
T
E
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S
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x
p>
i
d
e
d
e
p
o
s
i
t
i
< br>o
n
n
:
T
E
O
S
淀
积
,
淀
p>
积
T
E
O
S
的
一
种
工
艺
< br>1
4
3
.
p
n
j
u
n
c
t
p>
i
o
n
n
:
p
n
结
1
< br>4
4
.
p
o
c
k
e
d
b
e
p>
a
d
n
:
麻
点
,
在
2
0
X
< br>下
观
察
到
的
吸
附
在
低
压
表
面
的
p>
水
珠
1
4
5
.
p
o
l
< br>a
r
i
z
a
t
i
o
n
n
:
偏
p>
振
,
描
述
电
磁
波
下
电
场
矢
量
< br>方
向
的
术
语
1
4
6
.
p
p>
o
l
y
c
i
d
e
n
:
多
晶
< br>硅
/
金
属
硅
化
物
,
解
决
高
p>
阻
的
复
合
栅
结
构
1
4
7
p>
.
p
o
l
y
c
r
y
s
t
a
< br>l
l
i
n
e
s
i
l
i
c
o
n
p>
(
p
o
l
y
)
n
:
多
晶
< br>硅
,
高
浓
度
掺
杂
(
>
5
E
1
9
p>
)
的
硅
,
能
导
电
。
1
4
8
< br>.
p
o
l
y
m
o
r
p
h
i
s
p>
m
n
:
多
态
现
象
,
多
晶
形
< br>成
一
种
化
合
物
以
至
少
两
种
不
同
p>
的
形
态
结
晶
的
现
象
1
4
< br>9
.
p
r
o
b
e
r
n
:
p>
探
针
。
在
集
成
电
路
的
电
流
测
< br>试
中
使
用
的
一
种
设
备
,
用
以
连
p>
接
圆
片
和
检
测
设
备
。
1
< br>5
0
.
p
r
o
c
e
s
s
c
p>
o
n
t
r
o
l
n
:
过
p>
程
控
制
。
半
导
体
制
造
过
程
中
< br>,
对
设
备
或
产
品
规
范
的
控
制
能
p>
力
。
'
1
p>
5
1
.
p
r
o
x
i
m
i
t
< br>y
X
-
r
a
y
n
:
近
p>
X
射
线
:
一
种
光
刻
技
术
,
用
< br>X
射
线
照
射
臵
于
光
刻
胶
上
方
的
p>
掩
膜
版
,
从
而
使
对
应
的
光
< br>刻
胶
暴
光
。
1
5
2
.
p
u
p>
r
e
w
a
t
e
r
n
:
纯
水
p>
。
半
导
体
生
产
中
所
用
之
水
。
< br>
1
5
3
.
q
u
a
n
t
u
m
p>
d
e
v
i
c
e
n
:
量
p>
子
设
备
。
一
种
电
子
设
备
结
构
< br>,
其
特
性
源
于
电
子
的
波
动
性
。
p>
1
5
4
.
q
u
a
r
t
< br>z
c
a
r
r
i
e
r
n
:
p>
石
英
舟
。
1
5
5
.
r
a
< br>n
d
o
m
a
c
c
e
s
s
m
p>
e
m
o
r
y
(
R
A
M
)
n
:
随
p>
机
存
储
器
。
1
5
6
.
r
< br>a
n
d
o
m
l
o
g
i
c
d
p>
e
v
i
c
e
n
:
随
机
逻
< br>辑
器
件
。
1
5
7
.
r
a
p
p>
i
d
t
h
e
r
m
a
l
p
< br>r
o
c
e
s
s
i
n
g
(
R
T
p>
P
)
n
:
快
p>
速
热
处
理
(
R
T
P
)
。
1
5
9
p>
.
r
e
a
c
t
o
r
n
< br>:
反
应
腔
。
反
应
进
行
的
密
封
隔
p>
离
腔
。
[
1
p>
6
2
.
s
c
a
n
n
i
n
g
< br>
e
l
e
c
t
r
o
n
m
i
c
p>
r
o
s
c
o
p
e
(
S
E
M
< br>)
n
:
电
子
显
微
镜
(
S
E
p>
M
)
。
1
6
3
p>
.
s
c
h
e
d
u
l
e
d
< br>d
o
w
n
t
i
m
e
n
:
p>
(
设
备
)
预
定
停
工
时
间
。
1
6
4
p>
.
S
c
h
o
t
t
k
y
b
< br>a
r
r
i
e
r
d
i
o
d
e
s
p>
n
:
肖
特
基
二
极
管
。
1
6
5
p>
.
s
c
r
i
b
e
l
i
n
< br>e
n
:
划
片
槽
。
1
6
p>
6
.
s
a
c
r
i
f
i
c
i
< br>a
l
e
t
c
h
b
a
c
k
n
:
牺
p>
牲
腐
蚀
。
1
6
8
.
s
h
< br>e
e
t
r
e
s
i
s
t
a
n
c
p>
e
(
R
s
)
(
o
r
p
e
r
p>
s
q
u
a
r
e
)
n
:
薄
p>
层
电
阻
。
用
以
衡
量
半
导
体
表
< br>面
杂
质
掺
杂
水
平
。
1
6
9
p>
.
s
i
d
e
l
o
a
d
:
< br>
边
缘
载
荷
,
被
弯
曲
后
产
生
的
p>
应
力
。
1
7
0
p>
.
s
i
l
i
c
o
n
o
n
s
p>
a
p
p
h
i
r
e
(
S
O
S
)
< br>e
p
i
t
a
x
i
a
l
w
a
f
p>
e
r
:
外
延
是
蓝
宝
石
衬
底
硅
< br>的
原
片
1
7
1
p>
.
s
m
a
l
l
s
c
a
l
< br>e
i
n
t
e
g
r
a
t
i
o
n
p>
(
S
S
I
)
:
小
规
模
综
合
,
< br>在
单
一
模
块
上
由
2
到
1
0
个
图
p>
案
的
布
局
。
1
7
2
.
< br>s
o
u
r
c
e
c
o
d
e
:
原
p>
代
码
1
7
3
.
s
p
e
c
< br>t
r
a
l
l
i
n
e
:
光
谱
p>
线
,
光
谱
镊
制
机
或
分
光
计
在
< br>焦
平
面
上
捕
捉
到
的
狭
长
状
的
图
p>
形
。
1
7
4
.
s
p
i
< br>n
w
e
b
b
i
n
g
:
旋
转
p>
带
,
在
旋
转
过
程
中
在
下
表
面
< br>形
成
的
细
丝
状
的
剩
余
物
。
(
1
7
p>
6
.
s
t
a
c
k
i
n
g
< br>f
a
u
l
t
:
堆
垛
层
错
,
原
子
p>
普
通
堆
积
规
律
的
背
离
产
生
的
< br>2
次
空
间
错
误
。
1
7
7
.
p>
s
t
e
a
m
b
a
t
h
:
< br>蒸
汽
浴
,
一
个
大
气
压
下
,
流
动
p>
蒸
汽
或
其
他
温
度
热
源
的
暴
光
< br>。
1
7
8
.
s
t
e
p
p>
r
e
s
p
o
n
s
e
t
i
m
< br>e
:
瞬
态
特
性
时
间
,
大
多
数
流
p>
量
控
制
器
实
验
中
,
普
通
变
化
< br>时
段
到
气
流
刚
到
达
特
定
地
带
p>
的
那
个
时
刻
之
间
的
时
间
。
1
7
9
p>
.
s
t
e
p
p
e
r
:
步
< br>进
光
刻
机
(
按
B
L
O
C
K
来
曝
p>
光
)
1
8
0
.
s
t
r
< br>e
s
s
t
e
s
t
:
应
力
测
p>
试
,
包
括
特
定
的
电
压
、
温
度
< br>、
湿
度
条
件
。
1
8
1
.
p>
s
u
r
f
a
c
e
p
r
o
f
< br>i
l
e
:
表
面
轮
廓
,
指
与
原
片
p>
表
面
垂
直
的
平
面
的
轮
廓
(
没
< br>有
特
指
的
情
况
下
)
。
,
^
-
1
p>
8
2
.
s
y
m
p
t
o
m
:
< br>征
兆
,
人
员
感
觉
到
在
一
定
条
件
p>
下
产
生
变
化
的
弊
病
的
主
观
认
< br>识
。
1
8
3
.
t
a
c
k
p>
w
e
l
d
:
间
断
焊
,
通
常
在
< br>角
落
上
寻
找
预
先
有
的
地
点
进
行
p>
的
点
焊
(
用
于
连
接
盖
子
)
。
< br>
1
8
4
.
T
a
y
l
o
r
p>
t
r
a
y
:
泰
勒
盘
,
褐
拈
< br>土
组
成
的
高
膨
胀
物
质
。
1
8
p>
5
.
t
e
m
p
e
r
a
t
u
< br>r
e
c
y
c
l
i
n
g
:
温
度
p>
周
期
变
化
,
测
量
出
的
重
复
出
< br>现
相
类
似
的
高
低
温
循
环
。
p>
1
8
6
.
t
e
s
t
a
b
i
< br>l
i
t
y
:
易
测
性
,
对
于
一
个
p>
已
给
电
路
来
说
,
哪
些
测
试
是
< br>适
用
它
的
。
1
8
7
.
t
h
p>
e
r
m
a
l
d
e
p
o
s
i
< br>t
i
o
n
:
热
沉
积
,
在
超
过
9
p>
5
0
度
的
高
温
下
,
硅
片
引
入
< br>化
学
掺
杂
物
的
过
程
。
1
8
p>
9
.
t
i
t
a
n
i
u
m
(
< br>T
i
)
:
钛
。
1
9
0
.
p>
t
o
l
u
e
n
e
(
C
6
H
< br>5
C
H
3
)
:
甲
苯
。
有
毒
、
p>
无
色
易
燃
的
液
体
,
它
不
溶
于
< br>水
但
溶
于
酒
精
和
大
气
。
1
p>
9
1
.
1
,
1
,
1
-
t
r
< br>i
c
h
l
o
r
o
e
t
h
a
n
e
p>
(
T
C
A
)
(
C
L
3
C
C
H
< br>3
)
:
有
毒
、
不
易
燃
、
有
刺
p>
激
性
气
味
的
液
态
溶
剂
。
这
种
< br>混
合
物
不
溶
于
水
但
溶
于
酒
精
和
p>
大
气
。
1
9
p>
3
.
t
u
n
g
s
t
e
n
< br>h
e
x
a
f
l
u
o
r
i
d
e
(
p>
W
F
6
)
:
氟
化
钨
。
无
色
< br>无
味
的
气
体
或
者
是
淡
黄
色
液
体
p>
。
在
C
V
D
中
W
F
6
用
于
淀
< br>积
硅
化
物
,
也
可
用
于
钨
传
导
的
p>
薄
膜
。
1
9
4
p>
.
t
i
n
n
i
n
g
:
金
< br>属
性
表
面
覆
盖
焊
点
的
薄
层
。
1
9
5
p>
.
t
o
t
a
l
f
i
x
e
< br>d
c
h
a
r
g
e
d
e
n
s
p>
i
t
y
(
N
t
h
)
:
下
列
< br>是
硅
表
面
不
可
动
电
荷
密
度
的
总
p>
和
:
氧
化
层
固
定
电
荷
密
度
(
< br>N
f
)
、
氧
化
层
俘
获
的
电
荷
的
p>
密
度
(
N
o
t
)
、
界
面
负
获
< br>得
电
荷
密
度
(
N
i
t
)
。
1
p>
9
6
.
w
a
t
t
(
W
)
:
< br>
瓦
。
能
量
单
位
。
1
9
7
p>
.
w
a
f
e
r
f
l
a
t
< br>:
从
晶
片
的
一
面
直
接
切
下
去
p>
,
用
于
表
明
自
由
载
流
子
的
导
< br>电
类
型
和
晶
体
表
面
的
晶
向
,
也
p>
可
用
于
在
处
理
和
雕
合
过
程
中
< br>的
排
列
晶
片
。
2
0
3
.
p>
w
i
n
d
o
w
:
在
隔
离
晶
< br>片
中
,
允
许
上
下
两
层
实
现
电
连
p>
接
的
绝
缘
的
通
道
。
2
0
< br>5
.
v
a
p
o
r
p
r
e
s
p>
s
u
r
e
:
当
固
体
或
液
体
< br>处
于
平
衡
态
时
自
己
拥
有
的
蒸
汽
p>
所
施
加
的
压
力
。
蒸
汽
压
力
是
< br>与
物
质
和
温
度
有
关
的
函
数
。
p>
2
0
7
.
t
r
a
n
s
i
t
< br>i
o
n
m
e
t
a
l
s
:
过
p>
渡
金
属
P
A
C
p>
感
光
化
合
物
A
S
I
C
特
< br>殊
应
用
集
成
电
路
S
o
l
v
p>
e
n
t
溶
剂
:
C
p>
a
r
b
i
d
e
碳
R
e
f
p>
r
a
c
t
i
v
e
折
射
E
< br>x
p
a
n
s
i
o
n
膨
胀
T
M
:
t
o
p
p>
m
e
n
t
a
l
顶
层
金
属
层
< br>
W
E
E
p>
周
边
曝
光
P
O
D
p>
装
晶
舟
和
晶
片
的
盒
子
R
< br>e
t
i
c
l
e
光
罩
p>
S
p
i
n
旋
转
A
/
D
[
军
]
p>
A
n
a
l
o
g
.
D
i
g
i
t
< br>a
l
,
模
拟
/
数
字
A
C
M
p>
a
g
n
i
t
u
d
e
交
流
幅
< br>度
A
C
P
p>
h
a
s
e
交
流
相
位
A
< br>c
c
u
r
a
c
y
精
度
p>
A
c
t
i
v
i
t
y
M
o
d
e
l
A
c
t
i
p>
v
i
t
y
M
o
d
e
l
活
动
模
型
A
d
d
p>
i
t
i
v
e
P
r
o
c
e
s
< br>s
加
成
工
艺
A
d
h
e
s
p>
i
o
n
附
着
力
A
g
g
p>
r
e
s
s
o
r
干
扰
源
A
n
a
p>
l
o
g
S
o
u
r
c
e
模
拟
源
A
O
I
p>
,
A
u
t
o
m
a
t
e
d
O
< br>p
t
i
c
a
l
I
n
s
p
e
c
p>
t
i
o
n
自
动
光
学
检
查
A
s
s
p>
e
m
b
l
y
V
a
r
i
a
n
< br>t
不
同
的
装
配
版
本
输
出
p>
A
t
t
r
i
b
u
t
e
s
属
性
p>
A
X
I
,
A
u
t
o
m
a
t
e
< br>d
X
-
r
a
y
I
n
s
p
e
p>
c
t
i
o
n
自
动
X
光
检
查
< br>
B
I
S
T
,
B
u
i
l
t
-
p>
i
n
S
e
l
f
T
e
s
t
< br>
内
建
的
自
测
试
B
u
s
p>
R
o
u
t
e
总
线
布
线
< br>C
i
r
c
u
i
t
电
路
基
准
.
c
p>
i
r
c
u
i
t
d
i
a
g
r
< br>a
m
电
路
图
C
l
e
p>
m
e
n
t
i
n
e
专
用
共
形
< br>开
线
设
计
C
l
u
s
t
e
r
p>
P
l
a
c
e
m
e
n
t
簇
布
局
C
M
p>
合
约
制
造
商
C
o
m
m
o
< br>n
I
m
p
e
d
a
n
c
e
共
p>
模
阻
抗
C
o
n
p>
c
u
r
r
e
n
t
并
行
设
计
< br>
C
o
n
s
t
a
n
t
S
o
p>
u
r
c
e
恒
压
源
C
o
o
p>
p
e
r
P
o
u
r
智
能
覆
< br>铜
C
r
o
s
s
t
a
l
k
串
扰
C
p>
V
T
,
C
o
m
p
o
n
e
n
t
< br>
V
e
r
i
f
i
c
a
t
i
o
n
p>
a
n
d
p>
T
r
a
c
k
i
n
g
元
件
确
< br>认
与
跟
踪
D
C
M
a
g
n
p>
i
t
u
d
e
直
流
幅
度
< br>D
e
l
a
y
s
延
时
p>
D
e
s
i
g
n
f
o
r
p>
T
e
s
t
i
n
g
可
测
试
性
< br>设
计
D
e
s
i
g
n
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t
o
p>
r
标
识
p>
D
F
C
,
D
e
s
i
g
n
f
o
r
p>
C
o
s
t
面
向
成
本
的
设
计
< br>