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镀膜真空术语全集
1.
标准环境条件
standard ambient
condition
：
2.
气体的标准状态
standard reference conditions for
gases
：
3.
压力（压强）
p
pressure
：
4.
帕斯卡
Pa
pascal
：
5.
托
Torr
torr
：
6.
标准大气压
atm
standard atmosphere
：
7.
毫巴
mbar
millibar
：
8.
分压力
partial pressure
：
9.
全压力
total pressure
：
10.
真空
vacuum
：
11.
真空度
degree of vacuum
：
12.
真空区域
ranges of vacuum
：
13.
气体
gas
：
14.
非可凝气体
non-condensable
gas
：
15.
蒸汽
vapor
：
16.
饱和蒸汽压
saturation vapor
pressure
：
17.
饱和度
degree of
saturation
：
18.
饱和蒸汽
saturated vapor
：
19.
未饱和蒸汽
< br>unsaturated vapor
：
20.
分子数密度
< br>n
，
m-3 number density of
molecules
：
21.
平均自由程
< br>ι
、
λ
，
m mean free path
：
22.
碰撞率
ψ
collision
rate
：
23.
体积碰撞率
χ
volume
collision rate
：
24.
气体量
G quantity
of gas
：
25.
气体的扩散
diffusion of gas
：
26.
扩散系数
D
diffusion coefficient;
diffusivity
：
27.
粘滞流
viscous flow
：
28.
粘滞系数
η
viscous
factor
：
29.
泊肖叶流
poiseuille flow
：
30.
中间流
intermediate
flow
：
31.
分子流
molecular flow
：
32
克努曾数
number of
knudsen
：
33.
分子泻流
molecular effusion; effusive
flow
：
34.
流逸
transpiration
：
35.
热流逸
thermal
transpiration
：
36.
分子流率
qN molecular flow rate; molecular
flux
：
37.
分子流率密度
molecular flow rate density; density of
molecular flux
：
38.
质量流率
qm mass flow
rare
：
39.
流量
qG throughput of
gas
：
40.
体积流率
qV volume flow
rate
：
41.
摩尔流率
q
υ
molar flow rate
：
42.
麦克斯韦速度分布
maxwellian velocity
distribution
：
43.
传输几率
Pc
transmission probability
：
44.
分子流导
CN,UN
molecular conductance
：
45.
流导
C,U
conductance
：
46.
固有流导
Ci,Ui
intrinsic conductance
：
47.
流阻
W
resistance
：
48.
吸附
sorption
：
49.
表面吸附
adsorption
：
50.
物理吸附
physisorption
：
51.
化学吸附
chemisorption
：
52.
吸收
absorption
：
53.
适应系数
α
accommodation
factor
：
54.
入射率
υ
impingement
rate
：
55.
凝结率
condensation
rate
：
56.
粘着率
sticking rate
：
57.
粘着几率
Ps
sticking probability
：
58.
滞留时间
τ
residence
time
：
59.
迁移
migration
：
60.
解吸
desorption
：
61.
去气
degassing
：
62.
放气
outgassing
：
63.
解吸或放气或去气速率
qGU desorption or outgassing or
degassing rate
：
64.
蒸发率
evaporation rate
：
65.
渗透
permeation
：
66.
渗透率
φ
permeability
：
67.
渗透系数
P
permeability coefficient
2.
1.
真空泵
vacuum pumps
1-1.
容积真空泵
positive displacement
pump
：
⑴
.
气镇真空泵
gas ballast vacuum
pump
：
⑵
.
油封（液封）真空泵
oil sealed
(liquid-sealed) vacuum pump
：
⑶
.
干封真
空泵
dry-sealed vacuum
pump
：
⑷
.
往复真空泵
piston vacuum
pump
：
⑸
.
液环真空泵
liquid ring vacuum
pump
：
⑹
.
旋片真空泵
sliding vane rotary vacuum
pump
：
⑺
.
定片真空泵
rotary piston vacuum
pump
：
⑻
.
滑阀真空泵
rotary plunger vacuum
pump
：
⑼
.
余摆线真空泵
trochoidal vacuum
pump
：
⑽
.
多室旋片真空泵
multi-chamber sliding vane rotary
vacuum pump
：
⑾
.
罗茨真空泵
roots vacuum
pump
：
1-2.
动量传输泵
kinetic vacuum
pump
：
⑴
.
牵引分子泵
molecular
drag pump
：
⑵
.
涡轮分子泵
turb
o molecular pump
：
⑶
.
喷射真
空泵
ejector vacuum
pump
：
⑷
.
液体喷射真空泵
liquid jet vacuum
pump
：
⑸
.
气体喷射真空泵
gas jet
vacuum pump
：
⑹
.
蒸汽喷射真空泵
vapor jet vacuum pump
：
⑺
.
扩散泵
diffusion pump
：
⑻
.
自净化
扩散泵
self purifying diffusion
pump
：
⑼
.
分馏扩散泵
fractionating diffusion pump
：
⑽
.
扩散喷射泵
diffusion ejector pump
：
⑾
.
离子传输泵
ion transfer
pump
：
1-3.
捕集真空泵
entrapment vacuum
pump
：
⑴吸附泵
adsorption
pump
：
⑵
.
吸气剂泵
getter pump
：
⑶
.
升华（
蒸发）泵
sublimation
(evaporation)pump
：
⑷
.
吸气剂
离子泵
getter ion
pump
：
⑸
.
蒸发离子泵
evaporation ion
pump
：
⑹
.
溅射离子泵
sputter ion pump
：
⑺
.
低温泵
cryopump
：
2.
真空泵零部件
2-1.
泵壳
pump case
：
2-2.
入口
inlet
：
2-3.
出口
outlet
：
2-4.
旋片（滑片、滑阀）
vane; blade
：
2-5.
排气阀
discharge valve
：
2-6.
气镇阀
gas ballast
valve
：
2-7.
膨胀室
expansion
chamber
：
2-8.
压缩室
compression
chamber
：
2-9.
真空泵油
vacuum pump oil
：
2-10.
泵液
pump fluid
：
2-11.
喷嘴
nozzle
：
2-13.
喷嘴扩张率
nozzle
expansion rate
：
2-14.
喷嘴间隙面积
nozzle clearance area
：
2-15.
喷嘴间隙
nozzle
clearance
：
2-16.
射流
jet
：
2-17.
扩散器
diffuser
：
2-18.
扩散器喉部
diffuser thoat
：
2-19.
蒸汽导管
vapor
tube(pipe;chimney)
：
2-20.
喷嘴组件
nozzle
assembly
：
2-21.
下裙
skirt
：
3.
附件
3-1
阱
t
rap
：
⑴
.
冷阱
cold trap
：
⑵
.
吸附阱
sorption trap
：
⑶
.
离子阱
ion trap
：
⑷
.
冷冻升
华阱
cryosublimation
trap
：
3-2.
挡板
baffle
：
3-3.
油分离器
oil
separator
：
3-4.
油净化器
oil
purifier
：
3-5.
冷凝器
condenser
：
4.
泵按工作分类
4-1.
主泵
main
pump
：