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光刻机项目可行性研究报告
光刻机项目
可行性研究报告
xxx
科技公司
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光刻机项目可行性研究报告
摘要
光刻技术指利用光学
-
化学反应原理,将电路图转移到晶圆表面的
工艺
技术,光刻机是光刻工序中的一种投影曝光系统。其包括光源、
光学镜片、对准系统等。
在制造过程中,通过投射光束,穿过掩膜板
和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶
,经过显影后可以将电
路图最终转移到硅晶圆上。
光刻机分为无掩模光刻机和有掩模光刻机。(
1
)
无掩模光刻机可
分为电子束直写光刻机、离子束直写光刻机、激光直写光刻机。电子
p>
束直写光刻机可以用于高分辨率掩模版以及集成电路原型验证芯片等
的制造,激光直写光刻机一般是用于小批量特定芯片的制造。(
2
)有
掩模光刻机分为接触
/
接近式光
刻机和投影式光刻机。接触式光刻和接
近式光刻机出现的时期较早,投影光刻机技术更加
先进,图形比例不
需要为
1:1
,减低
了掩膜板制作成本,目前在先进制程中广泛使用。
随着曝光光
源的改进,光刻机工艺技术节点不断缩小。光刻设备
从光源(从最初的
< br>g-Line
,
i-Line
发
展到
EUV
)、曝光方式(从接触
式到
步进式,从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。
.
目前
光刻机主要可以分为
IC
前道制造光刻机(市场主流)、
IC
后
道先进封装光刻机、
< br>LED/MEMS/PowerDevices
制造用光刻机以及面板光
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刻机。其
中
IC
前道光刻机需求量和价值量都最高,但是技术难度最大。
而封装光刻机对于光刻的精度要求低于前道光刻要求,面板光刻机主
要用在薄膜晶体管制造中,与
IC
前道光刻机相比技术难度
更低。
IC
前道光刻机技术最为复杂
,光刻工艺是
IC
制造的核心环节也是
占用时间比最大的步骤,光刻机是目前晶圆制造产线中成本最高的半
导体设备。光刻设备
约占晶圆生产线设备成本
27%
,光刻工艺占芯片制
造时间
40%-50%
。高精度
< br>EUV
光刻机的使用将使
die
和
wafer
的成本进
一步减小,但是
设备本身成本也会增长。
光刻设备量价齐升带动光刻设备市场
不断增长。一方面,随着芯
片制程的不断升级,
IC
前道光刻机价格不断攀升。目前最先进的
EUV
设
备在
2018
年单台平均售价高达
1.
04
亿欧元,较
2017
年单台平均售
价增长
4%
。另一方面,晶圆尺寸变大
和制程缩小将使产线所需的设备
数量加大,性能要求变高。
12
寸晶圆产线中所需的光刻机数量相较于
8
寸晶圆产线将进一步上升。同时预计
2020
年随着半导体产
线得到持
续扩产,光刻机需求也将进一步加大。
光刻机采购节奏是内资产线资本支出的关键信号。内资产线一般
会优先采购价
值量和技术难度最高的光刻机。从长江存储、华力微、
华虹无锡、中芯绍兴以及株洲中车
的光刻机采购情况来看,各产线
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2019
Q4
至今光刻机合计采购量可观,预示其
2020
年内资产线资本支出
将进一步提升。
ASML
、佳能以及尼康是光刻机主要供应商,其中
ASML
在高端市场
一家独大并且垄断
EUV
光刻机。从光刻机总体出货量来看(含非
IC
前
道光刻机),目前全球光刻机出货量
99%
p>
集中在
ASML
,尼康和佳能。
其中
ASML
份额最高,达到
67.3%
,且垄断了高端
EUV
光刻机市场。
ASML
技术先进离不开高投入,其研发费用率始
终维持在
15%-20%
,远
高于
p>
Nikon
和
Canon
< br>。
从需求量来看,先进封装光刻机市场需求更大且增速
最高,是利
基市场的主要拉动力量。
2015-2020
年先进封装、
MEMS
以及
< br>LED
光刻
机出货量将持续增长,预计到
2020
年总需求量将超过
250
台
/
年。
2015
年到
2020
年先进封装光
刻设备出货量年复合增长率达到
15%
。
MEMS
光刻机需求量复合增速约
9%
左右。
光刻机还可以用于面板(
F
PD
)领域,国内
FPD
产业处于高速
发展
阶段,市场发展空间巨大。随着国内
FPD
生产线的建设和陆续投产及
下游电子设备应用多元化发展,我国
FPD
产业步入快速发展时期,产
能持续增长。预计<
/p>
2020
年我国
FPD
< br>产能将达到
194
百万平方米,
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2013
-2020
年复合增长率达
36.48%
,
FPD
市场保持高速增长,发展空间
巨大。
国内
FPD
产能全球占比持续提升。在
FPD
产业逐渐向中国大陆
转
移和中国大陆以京东方为首的
FPD
厂商投资力度加大的双重作用下,
国内
FPD
< br>产能全球占比持续提升。中国跃升为全球第二大
FPD
供
应区,
预计
2020
年国内
FPD
产能全球占比将提高至
52%
,届时中国将成为全
球最大的
FPD
生产基地。
1965
年摩尔
发现:芯片制造商可以在保持相同成本的情况下,每
2
年将典型
微处理器的晶体管数量增加一倍,并提高其性能,这一趋势
已经持续了
< br>50
多年,被称为摩尔定律。摩尔定律代表了半导体产业近
50
年的发展趋势,即半导体更小、更强大、更便宜、更节能。在该原
则的指导下,该行业已经经历了一系列的技术转型,芯片制作成本不
断下降,光
刻机的分辨率不断提高。光刻机波长不断缩短、制程节点
不断提高,波长从
436nm(g-Line)
缩短到
134nm(A
rF-i)
,然后缩短到
13.5nm(EUV)
;光刻系统满足的技术节点从
0.5μm
到
45nm
,然后到现
在的
5nm
,未来技术节点还将继续提高到
3nm
、
2nm
。
预计摩尔定律将延续到未来十年,未来技术节点将继续提高至
3
纳米、
2
纳米甚至更高,并且成本降低需求将成为芯片
制造的一大趋势。
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该光刻机
项目计划总投资
2465.13
万元,其中:固定资产投资
p>
1982.33
万元,占项目总投资的
80
.41%
;流动资金
482.80
万元
,占项
目总投资的
19.59%
。
p>
达产年营业收入
3352.00
万元,总成本费用
2654.19
万元,税金<
/p>
及附加
42.71
万元,利润总额
697.81
万元,利税总额
836.77<
/p>
万元,
税后净利润
523.36
万元,达产年纳税总额
313.41
万元;达产
年投资
利润率
28.31%
,投资利税
率
33.94%
,投资回报率
21.2
3%
,全部投资回
收期
6.21
年,提供就业职位
71
个。
< br>
报告针对项目的特点,分析投资项目能源消费情况,计算能源消
费量并提出节能措施;分析项目的环境污染、安全卫生情况,提出建
设与运营过
程中拟采取的环境保护和安全防护措施。
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光刻机项目可行性研究报告目录
第一章
项目概论
第二章
第三章
第四章
第五章
第六章
第七章
第八章
第九章
第十章
第十一章
p>
第十二章
第十三章
第十四章
第十五章
第十六章
背景及必要性研究分析
项目调研分析
产品规划
项目选址评价
土建方案说明
工艺技术说明
环境保护和绿色生产
项目安全保护
项目风险
节能方案分析
项目实施安排方案
投资方案
项目盈利能力分析
招标方案
综合评价说明
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第一章
项目概论
一、项目承办单位基本情况
(一)公司名称
xxx
科技公司
(二)公司简介
公司坚持“以人为本
,无为而治”的企业管理理念,以“走正道,负
责任,心中有别人”的企业文化核心思想
为指针,实现新的跨越,创造新
的辉煌。热忱欢迎社会各界人士咨询与合作。本公司秉承
“顾客至上,锐
意进取”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服
务。公司坚持“责任
+
爱心”的服务理
念,将诚信经营、诚信服务作为企业
立世之本,在服务社会、方便大众中赢得信誉、赢得
市场。“满足社会和
业主的需要,是我们不懈的追求”的企业观念,面对经济发展步入快
车道
的良好机遇,正以高昂的热情投身于建设宏伟大业。
p>
公司坚持以市场需求为导向、以科技创新为中心,在品牌建设方面不
断努力。先后获得国家级高新技术企业等资质荣。公司自成立以来,在整
合产业服务资源
的基础上,积累用户需求实现技术创新,专注为客户创造
价值。
产品的研发效率和质量是产品创新的保障,公司将进一步加大研发基
础建设。通过研发平台的建设,使产品研发管理更加规范化和信息化;通
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/p>
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过产品监
测中心的建设,不断完善产品标准,提高专业检测能力,提升产
品可靠性。
(三)公司经济效益分析
上一年度,
xxx
有限责任公司实现营业收入
3034.72
万元,同比增长
18.98%
(
484.17
万元)。其中,主营业业务光刻
机生产及销售收入为
2855.40
万元,占营业总收入的
p>
94.09%
。
根据初步统计测算,公司实现利润总额
717.04
万元,较去
年同期相比
增长
180.36
万元,增
长率
33.61%
;实现净利润
537
.78
万元,较去年同期
相比增长
94
.32
万元,增长率
21.27%
。<
/p>
上年度主要经济指标
项目
完成营业收入
完成主营业务收入
主营业务收入占比
营业收入增长率(同比)
营业收入增长量(同比)
利润总额
利润总额增长率
利润总额增长量
净利润
净利润增长率
净利润增长量
单位
万元
万元
3034.72
2855.40
94.09%
18.98%
484.17
717.04
33.61%
180.36
537.78
21.27%
94.32
指标
万元
万元
万元
万元
万元
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投资利润率
投资回报率
财务内部收益率
企业总资产
流动资产总额占比
流动资产总额
资产负债率
万元
万元
万元
31.14%
23.35%
23.23%
5610.70
30.97%
1737.36
22.34%
二、项目建设理由
三、项目概况
(一)项目名称
光刻机项目
(二)项目选址
xx
产业区
(三)项目用地规模
项目总用地面积
7790.56
平方米(折合约
11.
68
亩)。
(四)项目用地控制指标
该工程规划
建筑系数
59.08%
,建筑容积率
1
.31
,建设区域绿化覆盖率
5.60%
,固定资产投资强度
169.72
万元
/
亩。
(五)土建工程指标
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项目净用
地面积
7790.56
平方米,建筑物基底占地面积
4602.66
平方
米,总建筑面积
10205.63
平方米,其中:规划建设主体工程
7227.91
平方
米,项目规划绿化面积
571.53
平方米。
(六)设备选型方案
项目计划购置设
备共计
40
台(套),设备购置费
74
2.73
万元。
(七)节能分析
1
< br>、项目年用电量
719031.34
千瓦时,折合
88.37
吨标准煤。
2
、项目年总用水量
3293.45
立方米,折合
0.28
吨标准煤。
3
、“光刻机项目投资建设项目”,年用电量
< br>719031.34
千瓦时,年总
用水量
3293.45
立方米,项目年综合总耗能量(当量值)
88.65
吨标准煤
/
年。达产年综
合节能量
37.99
吨标准煤
/
年,项目总节能率
20.83%
,能源利
p>
用效果良好。
(八)环境保护
项目符合
xx
产业区发展规划,符合
xx
< br>产业区产业结构调整规划和国
家的产业发展政策;对产生的各类污染物都采取了切
实可行的治理措施,
严格控制在国家规定的排放标准内,项目建设不会对区域生态环境产
生明
显的影响。
(九)项目总投资及资金构成
项目预
计总投资
2465.13
万元,其中:固定资产投资
1982.33
万元,
占项目总投资的
80.41%
;流动资金
482.80
万元,占项目总投资的
19.59%
。
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(十)资金筹措
该项目现阶段投资均由企业自筹。
(十一)项目预期经济效益规划目标
预期达产年营业收入
3352.00
万元,总成本费用
2654.19
万元,税金
及附加
42.71
万元,利润总额
697.81
万元,利税总额
836.77
万元,税后
净利润
523.36
万元,达产年纳税总额
p>
313.41
万元;达产年投资利润率
28
.31%
,投资利税率
33.94%
,
投资回报率
21.23%
,全部投资回收期
6.21
年,提供就业职位
71
个
。
(十二)进度规划
本期工程项目建设期限规划
12
个月。
选派组织能力强、技术素质高、施工经验丰富、最优秀的工程技术人
员和施工队伍投入本项目施工。
四、报告说明
报告通过对项目的市场
需求、资源供应、建设规模、工艺路线、设备
选型、环境影响、资金筹措、盈利能力等方
面的研究调查,在行业专家研
究经验的基础上对项目经济效益及社会效益进行科学预测,
从而为客户提
供全面的、客观的、可靠的项目投资价值评估及项目建设进程等咨询意见。
报告通过对项目的市场需求、资源供应、建设规模、工艺路线、设备选型、
环境影响、资金筹措、盈利能力等方面的研究调查,在行业专家研究经验
的基
础上对项目经济效益及社会效益进行科学预测,从而为客户提供全面
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p>
的、客观的、可靠的项目投资价值评估及项目建设进程等咨询意见。《项
目报告》通过对项目科学深入的市场需求和供给分析、未来价格预测、资
源供应、建
设规模、工艺路线、设备选型、环境影响、节能减排、投资估
算、资金筹措、盈利能力等
方面的科学研究,从市场、技术、经济、工程
等角度对项目进行调查研究和分析比较,并
对项目建成以后可能取得的财
务、经济效益及社会环境影响进行科学预测,为项目决策提
供了公正的、
可靠的、科学性的投资咨询意见。
五、项目评价
1
、本期工程项目符合国家产业发展政策和规划要求,符合
xx
产业区
及
xx
产业区光刻机行业布局
和结构调整政策;项目的建设对促进
xx
产业
< br>区光刻机产业结构、技术结构、组织结构、产品结构的调整优化有着积极
的推动意
义。
2
、
x
xx
有限责任公司为适应国内外市场需求,拟建“光刻机项目”,
本期工程项目的建设能够有力促进
xx
产业区经济发展,为社
会提供就业职
位
71
个,达产年纳税总
额
313.41
万元,可以促进
xx<
/p>
产业区区域经济的繁
荣发展和社会稳定,为地方财政收入做出积极
的贡献。
3
、项目达产年投资利润率
28.31%
,投资利税率
33.94
%
,全部投资回
报率
21.23%
p>
,全部投资回收期
6.21
年,固定资产投
资回收期
6.21
年(含
建设期),项
目具有较强的盈利能力和抗风险能力。
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4
、提振民营经济、激发民间投资已被列入重要清单。民营经济是经济
和
社会发展的重要组成部分,在壮大区域经济、安排劳动就业、增加城乡
居民收入、维护社
会和谐稳定以及全面建成小康社会进程中起着不可替代
的作用,如何做大做强民营经济,
已成为当前的一项重要课题。鼓励民营
企业参与智能制造工程,围绕离散型智能制造、流
程型智能制造、网络协
同制造、大规模个性化定制、远程运维服务等新模式开展应用,建
设一批
数字化车间和智能工厂,引导产业智能升级。支持民营企业开展智能制造
综合标准化工作,建设一批试验验证平台,开展标准试验验证。加快传统
行业民营企业生产设备的智能化改造,提高精准制造、敏捷制造能力。引
导民间投资参与
制造业重大项目建设,国务院办公厅转发财政部发展改革
委人民银行《关于在公共服务领
域推广政府和社会资本合作模式指导意
见》,要求广泛采用政府和社会资本合作(
PPP
)模式。为推动《中国制造
2025<
/p>
》国家战略实施,中央财政在工业转型升级资金基础上整合设立了工
业转型升级(中国制造
2025
)资金。围绕《中国制造
p>
2025
》战略,重点解
决产业发展的基础
、共性问题,充分发挥政府资金的引导作用,带动产业
向纵深发展。重点支持制造业关键
领域和薄弱环节发展,加强产业链条关
键环节支持力度,为各类企业转型升级提供产业和
技术支撑。
综上所述,项目的建设和实施无论是经济效益、社
会效益还是环境保
护、清洁生产都是积极可行的。
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六、主要经济指标
主要经济指标一览表
序号
1
1.1
1.2
1.3
1.4
1.5
1.6
2
2.1
2.1.1
2.1.1.1
2.1.2
2.1.2.1
2.1.3
2.1.3.1
2.1.4
2.2
2.2.1
3
4
5
6
项目
占地面积
容积率
建筑系数
投资强度
基底面积
总建筑面积
绿化面积
总投资
固定资产投资
土建工程投资
土建工程投资占比
设备投资
设备投资占比
其它投资
其它投资占比
固定资产投资占比
流动资金
流动资金占比
收入
总成本
利润总额
净利润
单位
平方米
指标
7790.56
1.31
59.08%
169.72
4602.66
10205.63
571.53
2465.13
1982.33
899.06
36.47%
742.73
30.13%
340.54
13.81%
80.41%
482.80
19.59%
3352.00
2654.19
697.81
523.36
备注
11.68
亩
万元
/
亩
平方米
平方米
平方米
万元
万元
万元
万元
万元
绿化率
5.60%
万元
万元
万元
万元
万元
万元
-
-
-
-
-
-
-
-
-
上一篇:气相色谱与液相色谱 的比较(总结)
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