英文专有名词介绍

英文专有名词介绍

1. General (

一般专有名词

)

英文专有名词

LCD (Liquid Crystal Display)

Glass, substrate or glass substrate

TFT(Thin Film Transistor)

Panel

Array

中

文

说

明（数字表示有详注）

液晶显示器

*

注

.

玻璃基版

*

注

.

薄膜晶体管

*

注

.

面板

排列

,

指在玻璃基板上做

TFT

的制程

LCD

-Array

Cell

液晶填充制程

.

分为

LCD-FEOL

（

Cell

前段）

LCD-BEOL

（

Cell

后段含

Cell Tester

）

Module

模块

,

指后段组装制程

LCM

Monitor

Pixel

XGA : extended Graphics Array=1024*768Pixels

SXGA : Super XGA=1280*1024Pixels

Computer

Notebook

RGB (Red, Green, Blue)

PM (Preventive Maintenance)

Quality

Standard

Material

Yield

CIM (Computer Integration Manufacturing)

监视器

像素

*

注

.

PS.

像素越多表示分辨率越高

计算机

笔记型计算机（简称为

NB

）

指红绿蓝三原色

预防保养

品质

标准

(

指作业标准或品质指针

)

材料

良率

计算机整合制造（指以计算机系统整合制造流

程）

工厂自动化

出口

预防措施

警告

紧急

警报

FA (Factory Automation)

Exit

Precaution

Warning

Emergency

Alarm

2. Clean Room (

洁净室专有名词

)

英文专有名词

中文说明

Clean room

Particle

HEPA (High Efficient Particulate Air) filter

Contamination

Temperature (TEMP)

Humidity

Pressure

UPW (Ultra-Pure Water)

DIW (De- Ionized Water)

IPA (Isopropyl Alcohol)

Sticky mat

Cleanliness

ESD (Electro-static Discharge)

Laminar flow

Turbulent flow

Alcohol

Acetone

Particle

Dust

Gowning room

Raised floor (grating floor)

Air shower

Prohibit

Clean suit (bunny suit, dust-free garment)

洁净室

***

注

.

微粒子

***

注

.

高效能粒子空气过滤网

污染

温度

湿度

压力

超纯水

去离子水

异丙醇

脚踏粘垫

***

注

.

洁净度

静电破坏

***

注

.

层流（流体力学名词）

扰流（流体力学名词）

酒精

丙酮

微粒子

灰尘

换衣间

***

注

.

高架地板

***

注

.

气浴室

***

注

.

禁止

无尘衣

***

注

.

手套

Glove

Hairnet

Hood

Mask

Clean shoes (dust-free shoes, boots)

网帽

头罩

口罩

无尘鞋

3. Factory Automation (

英文专有名

工厂自动化专有名词

)

词

中文说明

Vehicle

AGV (Automatic Guided Vehicle)

运输工具或载具

自动搬运车

MGV (Manual Guided Vehicle)

Clean lifter

LIM (Linear Induction Motor) Carrier

人力搬运车

天井传送车

线性感应马达传送载具

OHS (Overhead Shuttle)

Stocker (clean depot)

Battery

Bay

Bumper

Charger

Controller

Conveyor

Crane

FFU (Fan Filter Unit)

Host

I/O (Input / Output)

Inter-bay

Intra- bay

IR (Infra- Red)

IRIF(Infra-Red Inter- Face)

Load

Unload

Magnetic tape

POSEIDON

天车或称轨道车

存放

Cassette(

架子

)

的暂存区

电池

作业区

保险杠

充电器

控制器

输送带

吊车（在

Stocker

内）

风扇过滤器

主机

输入

/

输出

作业区和作业区之间

作业区之内

红外线

红外线接口

进料

卸货

AGV

路径所使用的磁条

海神生产操作系统

Retrieve

RTM (Rotary Transfer Machine)

【计算机】检索

,

< br>撷取

(

资料

)

旋转传送机

SCARA arm

AGV

之传送手臂

Reset

Transportation

重新设定

传输

*

注

.OPI(Operation POSEIDON Instruction)

海神生产操作系统专有名词介绍

英文专有名词

中文说明

Recipe

Stock out

Request

Transfer

Instruction

程序

,

制程参数

将

Cassette

取出

请求

,

要求

传送

,

运送

命令

,

指令

选择

Select

Operation

作业

,

操作

Support

Process

Start

Comp.

支持

制程

开始

Completion

的缩写

,

意指完成

Batch

Lot

ID (Identity)

Sheet

Chip

Inspection

Defect

Production

Hold

Release

Equipment

Tool

WIP (Work In Process)

批量

指生产线上的在制品或产品

,

简称「货」

识别码

(

如

Lot ID or Chip ID)

片

(Array

区玻璃基版计数单位

)***

注

.

片

(Cell

区玻璃计数单位

)***

注

.

检验

缺陷

生产

留置在当站制程（如有品质问题时）

将

hold

住的货放行

,

释出

设备（简称为

EQP

）

工具

,

机台

在制品（制程在制品）

Maintenance

Cassette

Empty

Reserve

Report

Scrap

Rework

Log on

Log off

Note

维修保养

装在制品的架子

***

注

.

空的

预约

报告

报废

重工

登帐

除帐

批注

5.

Array

段制程专有名词介绍

英

文

专

有

名

词

中文说明

Material

Metal

Target

MoW (Moly- tungsten)

材料

金属

靶

钨化钼

Mo (Molybdenum)

钼

Al (Aluminum)

AlNd(Aluminum and Neodymium Alloy)

Reticle or Mask

Detergent (LH-300)

铝

铝和钕的合金以上皆为溅镀机金属靶的材料之一

光罩

界面活性剂的一种（清洗机用来清洗玻璃表面用

LH-300

为供货商型号）

含

NH4F

与

HF

，为清洗机用来清洗玻璃表面氧化

层

的化学溶液

臭氧，主要为各制程用来清除有机物的污染或残留

乙酸正丁酯，主要用来清洗旋转涂布光阻时残留在

玻璃边缘的光阻液

光阻（简称

PR

）

LAL-50

O

3

（

Ozone

）

NBA (1-butyl Acetate)

Resist or Photo Resist

HMDS

Hexamethyldisilazane

的简写，为一种化学中间体，

用以增加光阻涂布时对芯片表面之附着力

带静电防止剂（

ESD- Preventer

），在上光阻机内使

用，防止静电产生，破坏玻璃组件

AC-1

TMAH (

供货商型号为

KTM-25)

Oxalic Acid (H

2

C

2

O

4

)

DHF

ITO- Etchant

BHF

Al-Etchant

Tetra- Methyl Ammonium Hydroxide

的简写，为厂

内所使用之显影液

草酸，湿蚀刻机中用来蚀刻

5PEP

中的

a-ITO

膜成

份为

49%

氢氟酸

HF

，主要为湿蚀刻机 中用来蚀刻

7PEP

中的

SiNx

膜

成份中含盐酸

HCl

及硝酸

HNO

3

，主要用来蚀刻

7PEP

中的

Poly- ITO

成份中含氟化铵

NH4F< /p>

及

HF

，主要用来蚀刻

< br> 7PEP

中

的

SiON

成份中含乙酸

CH

3

COOH

、磷酸

H

3

PO

4

及硝酸

HNO

3

，

主要用来蚀刻