-
多层板外层加工工艺介绍
1
制程目的
经钻孔及通孔电镀后，内外层已连通，本制程在制作外层线路，以达电性的完整。
2
制作流程
铜面处理
→
压膜
→
曝光
→
显像。
2.1
铜面处理
详细资料请参考
4.
内层制作。
2.2
压膜
2.2.1
干膜介绍
干膜
(dry
film)
的构造见图
8.1
，
19
68
年由杜邦公司开发出来这种感旋光性聚合物的干膜后，
PC
B
的制
作就进入另一纪元，到
1984
年末杜邦的专利到期后日本的
HITACHI
< br>也有自己的品牌问世。尔后就陆续有
其它厂牌加入此一战场。
依干膜发展的历史可分下列
三种
Type
：
－溶剂显像型
－半水溶液显像型
－碱水溶液显像型
现在几乎是后者的天下，所以本章仅探讨此类干膜。
A.
干膜之组成
水溶性干膜主要是由于其组成中含有机酸根，会与强碱反应使成为有机酸的盐类，可被水溶掉
。
其组成见图
8.1
水溶性干膜最早由
Dynachem
推出，以碳酸钠显像，用稀氢氧化钠剥膜，当然经不断改进
才有今日成熟而完整的产品线
。
B.
制程步骤
干膜作业的环境，需要在黄色照明，通风良好，温湿度控制的
无尘室中操作，以减少污染增进阻
剂之品质。其主要的步骤如下：
压膜<
/p>
─
停置
─
曝光<
/p>
─
停置
─
显像。
2.2.2
压膜
(Lamination)
作业
A.
压膜机
压膜机可分手动及自动两种，有收集聚烯类隔层的卷轮，干膜主轮，加热轮，抽风设备等
四主要部份，进行连续作业，其示意见图
8.2
一般压膜条件为：
压膜热轮温度
120°
±
10
℃
板面温度
50±
10
℃
压膜速度
1.5~2.5
米／分
压力
15-40 psi
a.
传统手动压膜机须两人作业，一人在机前送板，一人在机
后收板并切断干膜，此方式用在样品、
小量多料号适合，对人力、物料的耗用浪费颇多。
b.
自动压膜机市面上
HAKUTO
，
CEDAL
，
SCHMID
等多种厂牌，其机构动作在板前缘黏压干膜方
式及压膜后缘切膜动作多有不同，但都朝产速加快，节省干膜以及黏贴能力上在改进。<
/p>
c.
国
内志胜几年前开发自动压膜机颇为成功国内多家大厂均有使用。
d.
干膜在上述之温度下达到其玻璃态转化点而具有流动性及
填充性，而能覆盖铜面。但温度不可
太高，否则会引起干膜的聚合而造成显像的困难。压
膜
前板子若能预热，可增强其附着力。
e.
为达细线路高密度板之高品质，必须从环境及设备上着手，干膜之压膜需要在无尘
室中进行（
10K
级以上）
，环境温度应控制在
23°
±
3
℃，相对
湿度应保持
50
％
RH±
5
％左右。
操作人员也要带手套及抗静电之无尘衣帽。
2.3
曝光
Exposure
2.3.1
曝光机种类
－手动与自动
－平行光与非平行光
－
LDI
雷射直接暴光
A.
手动曝光机，是将将欲曝板子上下底片以手动定
PIN
对位后，送入机台面，
吸真空后曝光。
B.
自动曝机一般含
Loading/unloading
，
须于板子外框先做好工具孔，
做初步定位再由
机台上之
CCD
，
Check
底片与孔的对位状况，并做微调后入曝光区曝光。依目前的精密须求程度，不以视觉机器自动对位
，
恐怕做不到好品质的板子。
C.
如何量测及评估曝光机的平行度：
－定义：
从平行度
(collimate)
字面的意思就是使直向行进，
而从光的眼光而言则是让光行进同
时垂
直于照射面。
图
8.3
是平行光与非平行光之比较。
－平行度的影响：而研判平行直进的方法有两个值可供参考，平行羊角
(Collimate
Half
Angle)
及
偏斜
(Declin
ation
Angle)
。
此二值可大略判断
<
/p>
曝光机的平行度及曝光可能造成的侧向偏移，
也因此若使用非
平行曝光机
曝光其影像会有偏料及底部侧向显像的问题。
－量测方法及工具：
一般量测平行度的方法是用一种叫平行度像机
(Collimation
Camera)
其量测
方式是以此工具置
于感光纸或感光物上曝光，之后再量偏移度，其示意图如下（图
8.4(a
，
b)
）
：
D.
非平行光与平行光的差异，平行光可降低
Under-Cut<
/p>
。其差异点，可见图
8.5
，显影后的比
较。做细
线路
(4mil
以下
)
非得用平行光之曝光机。
E.
另有一种
LDI(Laser Direct
Imaging)
激光直接感光之设备与感光方式。是利用
<
/p>
特殊之感光膜
coating
在板面，不
须底片直接利用激光扫描曝光。其细线可做到
2mil
以内，利
用多
beam
方式
18in×
24in
的板子，
已有号称曝光时间仅
30
秒。
2.3.2
作业注意事项
A.
偶氮棕片的使用
手动曝光因仰赖人目视对位，因此棕片是有必要的，但自动曝光机由机器负责对位所以一般黑
白底
片即可。棕片的寿命较短。
B.
能量的设定
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