-
1.
目的
确保分类检测处于良好的运行状态。
2.
适用范围
分类检测操作及保养。
3.
规范性引用文件
暂无。
4.
职责
4.1
制造Ⅰ部操作人员负责并执行日常维护保养。
4.2
设备工程师负责定期维护保养。
5.
术语和定义
无
i
分检机
开机
6.1
打开压缩空气手动阀，检查压力范围在
0.5
～
0.7 MPa
之间（图一）。
6.2
打开真空手动阀，检查真空度在
-0.06
～
-0.08
MPa
之间（图一）。
6.3
关闭所有的门使门锁到位，确认红色急停按钮（图二）拉出。
6.4
打开设备黑色电源开关（图二），等待计算机和
Baccini
程序自动运行。
图一
图二
6.5
程序运行后，按下
Auxiliaries
（
图三）辅助开关，会有闪光提示。
6.6
确认模式选择旋钮为自动（
Auto
）
（图三）状态。
6.7
根据生产不同的硅片，调用相应型号的工艺文件。如：
125
硅
片为“
”
。
6.8
再按下
Cycle res
et
按钮（图四）使机器复位
(
其灯一
直闪烁，直到复位结束
)
。
6.9 Cycle Star
t
按钮（图三）指示灯闪烁，提示复位结束；等待
Berger
测试系统能正常工作
后，按下
Cycl
e Start
按钮进行生产。
图三
图四
测试系统开机
7.1
按下
Berger
计算机和显示器电源按钮。
7.2
旋开氙灯电源箱红色停机按钮（图五）
，按下电源绿色启动按钮
（图五）
。
图五
7.3
Berger
计算机系统启动后
,
双
击运行
SCLoad
测试程序。
7.4
确认分类文件，校正光强后即可自动运行。
7.5
注意事项
7.5.1
校正光强时应调整
Flash
使光强功率在
950~1050W
之间
,
尽量接近
1000W<
/p>
。
7.5.2
分类文件中必须有一个类别为
TRASH,
其不需设任何条件
,
但需分配一个分检盒。
8.
关机
8.1
确定行走臂上的片子走完，按下
Cycle Stop
按钮（图六）
，设备停止运行。
8.2
退出
SCLoad
程序。
8.3
关闭
Berger
计算机系统和显示器电源。
8.4
关闭测试灯电源，直接将红色停机按钮按
下
(
图五
)
。
8.5
按下面板上红色急停按钮（图七）
。
图六
图七
图八
8.6
关闭黑色电源开关（图八）
，设备内的
UPS
系统会自动协作保存数据并关闭程序和计算机。
8.7
关闭真空（图十）和压缩空气（图九）手动阀。
图九
图十
9.
分类文件的建立和修改
9.1
在
SCLoad
软件菜单中选择
Settings
-----
Operating Mode…
(
图十一
)
。
图十一
9.2
在
Operating Mode
中选择
Manager
后点击
OK(
图十二
)
。<
/p>
图十二
图十三
9.3
在
Password
中不需输任何内
容，直接点击
OK(
图十三
)
进入
Manager
级别。
9.4
在菜单
Settings
中选择
Classification ----- New
…
(
图十四
)
。
图十四
9.5
点击
OK
创建新的分类文件
(
图十五
)
。
9.6
输入新分类文件名，点击保存
(
图十六
)
。
图十五
图十六
9.7
在分类文件的
Class
项目中点击
Add
,
根据要求输入分类档次（
Class
）的名称，其
中一个档
次必须为垃圾档
（
TRASH
）
，并给每个档次分配一个存放盒（
Bins
，
16
个分检盒中的一个）
(
图
十七
)
。
图十七
9.8
在
Criteria
项目中点击
Add
,
根据要求选择分类标准（
Criteria
< br>）
，并输入每个标准的范围
（
M
in
和
Max
）
。注意：垃圾档（
TRASH
）不允许输入任何标准。所有项目输入完成后必须保
存（
Save
）
(
图十八
)
。
图十八
9.9
修改分类文件：前面三步和创建新分类文件相同，只是
在第四步（
9.
4
）中选择菜单
Settings
中
Classification
的子菜单
Edit (
图十四
)
。根据需要修改后，保存文件即可。