-
镀
膜
真
空
术
语
全
集
< br>（
中
英
文
对
照
）
5.
分压真空计（分压分析器）
5-1.
射频质谱仪
radio
frequency
mass
spectrometer
：
?? <
/p>
5-2.
四极质谱仪
（四级滤质器）
quadrupole
mass
spe
ctrometer
；
quadrupole
mass
filer
：
??
5-3.
单极质谱仪
momopole
mass
spectrometer
：
5-4.
双聚焦质谱仪
double
focusing
mass
spectrometer
：
?? <
/p>
5-5.
磁偏转质谱仪
magnetic
deflection
mass
spectrometer
：
?? <
/p>
5-6.
余摆线聚焦质谱仪
trocho
idal
focusing
mass
spectrometer
：
?? <
/p>
5-7.
回旋质谱仪
omegatron
mass
spectrometer
：
??
5-8.
飞行时间质谱仪
time
of
flight
mass
spectrometer
：
??
6.
真空计校准
6-1.
标准真空计
reference
gauges
：
??
6-2.
校准系统
system
of
calibration
：
??
6-3.
校准系数
K
calibration
coefficient
：
??
6-4.
压缩计法
meleod
gauge
method
：
??
6-5.
膨胀法
expansion
method
：
??
6-6.
流导法
flow
method
：
4.?
?1.
真空系统
vacuum
system??
1-1.
真空机组
pump
system
：
??
1-2.
有油真空机组
pump
system
used
oil
：
??
1-3.
无油真空机组
oil
free
pump
system
1-4.
连续处理真空
设备
continuous
treatment
vacuum
plant
：
??
1-5.
闸门式真空系统
vacuum
system
with
an
air-lock
：
??
1-6.
压差真空系统
differential
ly
pumped
vacuum
system
：
??
1-7.
进气系统
gas
admittance
system
：
??
2.
真空系统特性参量
2-1.
抽气装置的抽速
volume
flow
rate
of
a
pumping
unit
：
??
2-2.
抽气装置的抽气量
throughput
of
a
pumping
unit
：
??
2-3.
真空系统的放气速率
degassing(outgassing)
throughput
of
a
vacuum
system
：
??
2-4.
真空系统的漏气速率
leak
throughput
of
a
vacuum
system
：
??
2-5.
真空容器的升压速率
rate
of
pressure
rise
of
a
vacuum
chamber
：
??
2-6.
极限压力
ultimate
pressure
：
??
2-7.
残余压力
residual
pressure
：
??
2-8.
残余气体谱
residual
gas
spectrum
：
??
2-9.
基础压力
base
pressure
：
??
2-10.
工作压力
working
pressure
：
??
2-11.
粗抽时间
roughing
time
：
??
2-12.
抽气时间
pump-
down
time
：
2-13.
真空系统时间常数
time
constant
of
a
vacuum
system
：
??
2-14.
真空系统进气时间
venting
time
：
??
3.
真空容器
3-1.
真空容器；真空室
vacuum
chamber
：
??
3-2.
封离真空装置
sealed
vacuum
device
：
??
3-3.
真空钟罩
vacuum
bell
jar
：
??
3-4.
真空容器底板
vacuum
base
plate
：
??
3-5.
真空岐管
vacuum
manifold
：
??
3-6.
前级真空容器（贮气罐）
backing
reservoir
：
??
3-7.
真空保护层
outer
chamber
：
??
3-8.
真空闸室
vacuum
air
lock
：
??
3-9.
真空冷凝器；蒸汽冷凝器
device
for
condensing
vapor
：
??
4.
真空封接和真空引入线
4-1.
永久性真空封接
permanent
seal
：
??
4.2.
玻璃
分级过渡封接
graded
seal
：
??
4-3.
压缩玻璃金属封接
***pression
glass
-to-metal
seal
：
??
4-4.
匹配式玻璃金属封接
matched
glass-to-metal
seal
：
??
4-5.
陶瓷金属封接
ceramic-to-metal
seal
：
??
4-6.
半永久性真空封接
semi-
permanent
seal
：
??
4-7.
可拆卸的真空封接
demountable
joint
：
??
4-8.
液体真空封接
liquid
seal??
4-9.
熔融金属真空
封接
molten
metal
seal
：
??
4-10.
研磨面搭接封接
ground
and
lapped
seal
：
??
4-11.
真空法兰连接
vacuum
flange
connection
：
??
4-12.
真空密封垫
vacuum-
tight
gasket
：
??
4-13.
真空密封圈
ring
gasket
：
4-14.
真空平密封垫
flat
gasket
：
??
4-15.
真空引入线
feedthrough
leadthrough
：
4-16.
真空轴密封
shaft
seal
：
??
4-17.
真空窗
vacuum
window
：
??
4-18.
观察窗
viewing
window
：
??
5.
真空阀门
5-1.
真空阀门的特性
characteristic
of
vacuum
valves
：
??
⑴
.
真空阀门的流导
cond
uctance
of
vacuum
valves
：
??
⑵
.
真空阀门的阀座漏气率
l
eak
rate
of
the
vacuum
seat
：
??
5-2.
真空调节阀
regulating
valve
：
??
5-3.
微调阀
micro-adjustable
valve
：
??
5-4.
充气阀
charge
valve
：
??
5-5.
进气阀
gas
admittance
valve
：
??
5-6.
真空截止阀
break
valve
：
??
5-7.
前级真空阀
backing
valve
：
??
5-8.
旁通阀
by-pass
valve
：
??
5-9.
主真空阀
main
vacuum
valve
：
??
5-10.
低真空阀
low
vacuum
valve
：
??
5-11.
高真空阀
high
vacuum
valve
：
??
< br>5-12.
超高真空阀；
UHV
阀
ultra-high
vacuum
valve
：
??
5-13.
手动阀
manually
operated
valve
：
??
< br>5-14.
气动阀
pneumatically
operated
valve
：
??
< br>5-15.
电磁阀
electromagnetical
ly
operated
valve
：
??
5-16.
电动阀
valve
with
electrically
motorized
operation
：
??
5-17.
挡板阀
baffle
valve
：
??
5-18.
翻板阀
flap
valve
：
??
5-19.
插板阀
gate
valve
：
??
5-20.
蝶阀
butterfly
valve
：
??
6.
真空管路
6-1.
粗抽管路
roughing
line
：
??
6-2.
前级真空管路
backing
line
：
??
6-3.
旁通管路；
By-
Pass
管路
by-pass
line
：
??
6-4.
抽气封口接头
pumping
stem
：
??
6-5.
真空限流件
limiting
conductance
：
??
6-6.
过滤器
filter
：
5.?
?1.
一般术语
1-1
真空
镀膜
vacuum
coating
：
??
1-2
基片
substrate
：
??
1-3
试验基片
testing
substrate
：
??
1-4
镀膜材料
coating
material
：
??
1-5
蒸发材料
evaporation
material
：
??
1-6
溅射材料
sputtering
material
：
??
1-7
膜层材料
(
膜层<
/p>
材质
)film
material
：
??
1-8
蒸发速率
evaporation
rate
：
??
1-9
溅射速率
sputtering
rate
：
??
1-10
沉积速率
deposition
rate
：
??
1-11
镀膜角度
coating
angle
：
2.
工艺
2-1
真空蒸膜
vacuum
evaporation
coating
：
??
(1).
同时蒸发
simultaneous
evaporation
：
??
(2).
蒸发场蒸发
evaporatio
n
field
evaporation
：
??
(3).
反应性真空蒸发
reactive
vacuum
evaporation
：
??
(4).
蒸发器中的反应性真空蒸发
rea
ctive
vacuum
evaporation
in
evaporator
：
??
(5).
直接加热的蒸发
direct
heating
evaporation
：
??
(6).
感应加热蒸发
induced
heating
evaporation
：
??
(7).
电子
束蒸发
electron
beam
evaporation
：
??
.
激光束蒸发
laser
beam
evaporation
：
??
(9).
间接加热的蒸发
indirect
heating
evaporation
：
??
(10).
闪蒸
flash
evaportion
：
??
2-2
真空溅射
vacuum
sputtering
：
??
(1).
反应性真空溅射
reactive
vacuum
sputtering
：
??
(2).
偏压溅射
bias
sputtering
：
??
(3).
直流二级溅射
direct
current
diode
sputtering
：
??
(4).
非对称性交流溅射
asymmtri
c
alternate
current
sputtering
：
??
(5).
高频二极溅射
high
frequency
diode
sputtering
：
??
(6).
热阴极直流溅射（三极型溅射）
ho
t
cathode
direct
current
sputtering
：
??
(7).
热阴极高频溅射（三极型溅射）
ho
t
cathode
high
frequency
sputtering
：
??
.
离子束溅射
ion
beam
sputtering
：
??
(9).
辉光放电清洗
glow
discharge
cleaning
：
??
2-3
物理气相沉积
PVD
physical
vapor
deposition
：
??
2-4
化学气相沉积
CVD
chemical
vapor
deposition
：
??
2-5
磁控溅射
magnetron
sputtering
：
??
2-6
等离子体化学气相沉积；
PCVD
plasma
chemistry
vapor
deposition
：
??
2-7
空心阴极离子镀
HCD
hollow
cathode
discharge
deposition
：
??
2-8
电弧离子镀
arc
discharge
deposition
：
3.
专用部件
3-1
镀膜室
coating
chamber
：
??
3-2
蒸发器装置
evaporator
device
：
??
3-3
蒸发器
evaporator
< br>：
??
3-4
直接加热式蒸发
器
evaporator
by
direct
heat
：
??
3-5
间接加热式蒸发器
evaporator
by
indirect
heat
：
??
3-7
溅射装置
sputtering
device
：
??
3-8
靶
target
：
??
3-10
时控挡板
timing
shutter
：
??
3-11
掩膜
mask
：<
/p>
??
3-12
基片支架
substrate
holder
：
??
3-13
夹紧装置
clamp
：
??
3-14
换向装置
reversing
device
：
??
3-15
基片加热装置
substrate
heating
device
：
??
3-16
基片冷却装置
substrate
colding
device
：
??
4.
真空镀膜设备
4-1
真空镀膜设备
vacuum
coating
plant
：
??