玻璃基板搬运机器人论文

玻璃基板搬运机器人

一、前言

玻璃基板是

FPD

产业的关键基础材料之一，

,

< br>其对于

FPD

的重要性不亚于硅

晶圆在半导体产业中的地位。在

FPD

产品生产过程中

,

玻璃基板不仅要承受强酸

强碱和高温的制程环 境

,

更需具备精密的表面平整度与平面起伏度。同时

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产

业的制造过程 要求高度自动化、无人化。因此

,

搬运机器人被引入到

FPD

产业取

代人工搬运

,

以确保玻璃基板的平稳搬运和精确定位。玻璃基板搬运机器人是一

< br>种应用于无尘或真空环境下的搬运机器人，

它主要应用在

FPD

产业中

联结前后

段。与其它机器 人相比，

,

玻璃基板搬运机器人具有高刚度、高速度、高精度、

高平稳性和高洁净度的特点。因此

,

玻 璃基板搬运机器人现已成为

FPD

产业关键

设备之一

,

本文将对玻璃基板搬运机器人之现况与技术进行 介绍。

,

,

二、玻璃基板搬运机器人发展前沿

随着

FPD

产业的技术革新，

玻璃基板的生产尺寸按摩尔定律逐年 增大，

至今

玻璃基板的尺寸已经历了

1 0

代的变化。按玻璃基板的尺寸大小我们可将其大致

分为小型< /p>

(1

代

-5

代< /p>

)

、中型

(6

代

-9

代

)

和 大型

(10

代及以后

)

玻璃基板三大类别

。

因此玻 璃基板搬运机器人也相应分为小型、中型和大型玻璃基板搬运机器人

。其发展历程大约分 为下列三个时期

:

1.1990

年代 以前，玻璃基板基本上处于

1

、

2 < /p>

代，其尺寸小、质量轻，

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产业的制 造工艺相对简单，因此玻璃基板在

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各制程间的搬运大

都以人工搬运方式或一些简单设备来完成。这种搬运方式不仅严重限制了

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产业生产效率的提高还对玻璃基板造成很大程度的污染。

< br>自

90

年代后玻

璃基板的尺寸和 质量开始增大，

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产业的生产效率逐渐提高人工搬运方式< /p>

逐渐不符需求

;

因此在此情况下国外一些 自动化设备公司开始研发适用于玻

璃基板搬运的机器人，这种机器人负载承受能力高，大 幅提高了玻璃基板的

传输效率，同时减少了传输过程中对玻璃基板的污染。

2.2000

年后

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产业迅速发展，玻璃基板尺寸再度扩大同时厚度逐渐减小。

为满 足玻璃基板的高平稳性、高速度和高洁净度的搬运需求，国外又先后推

出了各种类型的中 型玻璃基板搬运机器人并研究了适合玻璃基板搬运机器人

~19~

的关键技术和关键零部件 ，申请了一些有关玻璃基板搬运机器人结构设计方

面的专利。

3.

近年来玻璃基板出现了两个明显的发展趋势

:

玻璃基板尺寸的大型化和中型

玻璃基板生产效率的提 高。因此国外研究单位在努力提高中型玻璃基板搬运

机器人各种性能指标的同时积极展开 对大型玻璃基板搬运机器人的研究。目

前已成功研发一些大型玻璃基板搬运机器人产品和 关键技术。

三、玻璃基板搬运机器人之结构特性

玻璃基板搬运机器人的主要功能是联结

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产业前后段，实现玻璃基板在

不同工作站间的高平稳性、

高速度和高洁净度传输。

其应具备能够承受较高负载

传送速率 与

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产业前后段制程同步，

抓取装 臵不损伤、

不污染玻璃基板以及传

输过程中不产生冲击和震动的 能力。因此玻璃基板搬运机器人要求高结构刚性、

高运动速度、占地面积小、操作空间大 等特点。目前

,

在

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