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《
PECVD
设备工艺员培训资料》
基本内容：
<1>PECVD
设备常见故障和报
警信息描述，及相应解决方法介绍
<2>PECVD
工艺问题描述及相应的处理方法介绍
<3>
紧急情况处理措施及设备维护的相关注意事项
基本要求：
<1>
要求能够处理设备常见的基本故障
<2>
对于不能处理的设备问题，要求能够识别问题的大体原因所在，并能够在第一次时间判断
通知车间设备工程师还是外围设备工程师
<3>
熟悉
M125-XXL
工艺的基本步骤
，能够处理常见的镀膜不良的问题
<4>
面对紧急情况时，能够合理及
时的处理；设备维护时，能够按照规程合理的进行操作
注：以下内容如没有进行特别标注均指
Centrotherm
PECVD
《
PECVD
常见设备故障及解决方法》
手推车
(trolley)
加载
故障
<1>
手推车无法被加载
?
检查一下
store2
< br>和
store3
位置是否有同时存放石墨舟的情况，
如果是则将其中一个手动
取下
?<
/p>
检查一下车上水平方向的感应器上是否有脏污和磨损，
如有则用氮
气枪进行清理，
此时
禁止用无尘布之类的东西对反射镜进行擦拭
?
检查水平和垂直方向感应器指示灯
是否正常，然后通知当班工程师
<
2>
自动模式下石墨舟无法从设备内拾取到
store1
检查舟感应器的光线是否照射在了手推车上，正常的在没有石墨舟的情况下，舟感应器
的指示灯为开启状态，如果是则将首推车的位置重新调整，使舟感应器指示灯恢复开启
状态
<3>
手动模式下
store1
< br>位置没有
Downward
同
<2>
，检查舟感应器是否正常
打开
CM
I
界面下的护板，将
CMI
开关关闭然
后开开进行重启
CMI
死机
《
PECVD
设备工艺员培训资料》
机械臂
(Lift)
故障
<1>
在
CMI
操作完成的情况下，如果出现机械臂无法加载的情况，先
检查一下信号灯显示
否为指示自动模式的绿色，如果不是，则
选定自动模式，不能选定的情况
下，再检查一下
< br>CMI
上方的“
AUTO/Handling
”开关是否为ＡＵＴＯ位进行选定
<2>
在确保自动模式的前提下，如果机械臂仍不能动作，则等待半分钟，
如果还不能
在确保浆和炉门没有或没有即将出现运动的前提下，按下
CMI
上方的“
STOP
< br>”
，如果机
械臂依旧不能运动，则通知当班工程师
<1>
手动复位
“Mannual
”
→”Service”
→”EFM”
→”Recovery”
→”Handling”
<2>
检查一下炉门口是否有异物，如果有则用高温手套将异物取出。检
查一下
actpos=
是否
到位
<3>
检查一下进浆传送带是否有堵塞
<4>
对于捷佳伟创
PE
，检查一下前后限位开关是否
OK
，检查一下报警信息栏内是否有
堵塞报警
<5>
对于无法出舟的情况，要观察
一下
CMI
上是否有
SLS=
undefined
的情况
注：对进行过
Cesar
初始化操作
的情况，要手动将“
Mannual
”
?
“
Boat
”
?
“
Speed
”的
值重新进行设置，不然也会出行无法进行手动进舟的操作，一线值为
350
二线为
400
<1>
检查报警信息中，
是否有
NH3
或者
Si
H4 out of 1
st
2st tolerance
.
如有则首先检查是否有
三个炉管同时进行沉积工艺
depositon
，
如果是则进行等待，
直到其他管内的一舟工
艺结束沉积
(depositon)
步
<2>
如果在没有三个炉管同时工艺的情况下出现特气报警，则检查一下特气压力表上的压
力是
否在
1-2bar
间，如果不是则在第一时间通知外围设备工程
师
<3>
如果不是如上原因，则检查一下
CMI
上是否同时有压缩空气报警
(Alarm
Compress air
supply).
同时检查一下
CDA
表上显示是否低于
6bar.
如果是则在第一时间通知外围设备
工程师
<4>
对于初步判断为掉片造成的高频报警，则检查一下已进
行的工艺时间，看是否需要进
行补镀工艺，
< br>出现工艺没有自动结束的情况，
则在
2
< br>分钟后在
CMI
主菜中选定
“<
/p>
ExitPoc
→
然后选择“
YES
”手动结束工艺，此时会提示
proce
ss terminated
报警信息，点击红
色报警灯，在弹出的界面里选择第一项“
to Store
”
.
对于掉片则将硅片
重新插好进行工艺
<5>
对于相应炉管依旧出现高频
报警的情况，则手动打开炉门检查一下炉管内是否碎片太
多，是否有翘起的碎片，如有则
进行清理
浆无法进入移出炉
管
(EFM
error)
高
频
报
警
（
HF
generator out of 1st or
2st
tolerance
）
《
PECVD
设备工艺员培训资料》
手动结束高频报警的基本操作：
?
设定炉管内气压
“
Mannual
< br>”
→”Tab”→
“
vaccu
m
”
→”tube”→”pressure”→”Maximu
m”
?
往炉管内冲氮气
“
Man
nual
”
→”Gas”
→”N2NO”
→”Valve”
→”Open”
?
等待炉管内气压达到大气压
ATMO
开启大氮后点击
CMI
上“
Status
”等待炉管内气压回升到大气压
高
频
报
警
（
HF
当炉管下方显示
ATMO
状态时，关闭大氮
generator out
of 1st or
2st
tolerance
）
“
Mannual
< br>”
→”Gas”
→”N2NO”
→”Valve”
→”Close”
?
开炉门进舟
“
Mannual
”
→
“
Boat
”
→”Position”
→”Maximum”
?
SLS
操作
“
Mannual
”
→”SLS”
→”Position”
→”Go up”
?
退舟
“
Mannual
”
→
“
Boat
”
→”Position”
→”Minimum”
注
:
对于一线
PE
，
为了节省进舟时间，不必要再点击
CMI
上的“
Standby
”
?
重新进
舟时，需要补镀工艺时，则先在
CMI
上记下补镀时间，进舟时
Recipe
项
选择
< br>BD125
，如果不需要补镀，则选择
M125-XXL
工艺
炉门冷却水报警
<1>
检
查相应层的冷却水流量是否低于
4..
如果是则将其调整到
5-7
（
Warning
Water
flow
on
TGA
side
<2>
对
于冷却水流量显示为
0
的情况，则应在第一时间通知外围设备工
程师，如果在两分
stack1-4
）
钟内仍不能恢复，则将所有的真空泵立即关闭，同时将一线真空泵外壳打开
炉
管
/
主
冷
却冷
却
水报警
（
Alarm Water flow
解决措施同上
cooler
stack1-4
）
/(Alarm
Water
flow
at
main cooler)
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