半导体厂务常用缩写

CUP

Central Utility Plant

中央動力廠房

GEX

General EXhaust

普通及熱排氣

SEX

Scrubber EXhaust

酸排氣

VEX

Volatile orgaic compound EXhaust

有機溶劑排氣

AEX

Ammonia EXhaust

鹼性排氣

PCW

Plant Cooling Water

工藝冷卻水

PV

Process Vacuum

工藝真空

HV

House Vacuum

真空吸塵

CW

City Water

自來水

FMCS

Faility Monitoring Contro System

廠務監控系統

MCC

Motor Control Center

馬達控制中心

VFD

Variable Frequency Device

變頻器

CCTV

Close Circuit T

elevsion

閉路電視

P

A

Public Adress system

廣播系統

FA

Fire A

larm system

火災報警系統

UPW

Ultra Pure Water

超純水

FWW

Fluoride Waste Water

低濃度氫氟酸廢水

IWW

Industry Waste Water

工業廢水

OWW

Organic Waste Water

有機溶劑廢水

DAHW

Drain Amonia Hydride

Waste

含氨廢水

RCL

Recycle water

製程回收循環水

RCM

Reclaim water

製程回收再利用水

HFW

High Fluoride Waste water

高濃度氫氟酸廢水

BGW

Backgriding Waste water

晶背研磨廢水

SAW

Sulfuric Acid Waste water

硫酸廢液

P

AW

Phosphoric Acid Waste water

磷酸廢液

SW

Stripper Waste water

剝離液廢液

TW

Thinner Waste water

清洗廢液

PIX

Pix waste water

PIX

廢液

SLOW

Oxide slurry waste water

介電質研磨廢水

SL

WP

Metal slurry waste water

金屬研磨廢水

SL

WP

Poly slurry waste water

多晶硅研磨廢水

PN2

Process N2

製程用氮氣

GN2

General N2

一般用氮氣

CDA

Compressor

Dry Air

壓縮乾燥空氣

VMB

Valve Manifold Box

閥箱

空調系統

AHU

Air Handling Unit

空调箱

MAU

Make-up Air Unit

外气空调箱

VAV

Variable Air Volume box

可变风量风箱

FFU

Fan Filter Unit

风车过滤器

HEP

A

High Efficiency Particulate Filter

高效率过滤器

ULP

A

Ultra Low Penetration Filter

超高效率过滤器

A/S

Air Shower

空气浴尘室

CUP

Central Utility Plant

中央動力廠房

電力系統

FMCS

Faility Monitoring Control System

廠務監控系統

MCC

Motor Control Center

馬達控制中心

VFD

Variable Frequency Device

變頻器

CCTV

Close Circuit T

elevsion

閉路電視

SCADA

Supervisory Control

And

Data

Acquisition

监视控制和数据搜集系