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CUP
Central Utility Plant
中央動力廠房
GEX
General EXhaust
普通及熱排氣
SEX
Scrubber EXhaust
酸排氣
VEX
Volatile orgaic compound EXhaust
有機溶劑排氣
AEX
Ammonia EXhaust
鹼性排氣
PCW
Plant Cooling Water
工藝冷卻水
PV
Process Vacuum
工藝真空
HV
House Vacuum
真空吸塵
CW
City Water
自來水
FMCS
Faility Monitoring Contro System
廠務監控系統
MCC
Motor Control Center
馬達控制中心
VFD
Variable Frequency Device
變頻器
CCTV
Close Circuit
T
elevsion
閉路電視
P
A
Public Adress system
廣播系統
FA
Fire A
larm system
火災報警系統
UPW
Ultra Pure Water
超純水
FWW
Fluoride Waste Water
低濃度氫氟酸廢水
IWW
Industry Waste Water
工業廢水
OWW
Organic Waste Water
有機溶劑廢水
DAHW
Drain Amonia Hydride
Waste
含氨廢水
RCL
Recycle water
製程回收循環水
RCM
Reclaim water
製程回收再利用水
HFW
High Fluoride Waste water
高濃度氫氟酸廢水
BGW
Backgriding Waste water
晶背研磨廢水
SAW
Sulfuric Acid Waste water
硫酸廢液
P
AW
Phosphoric
Acid Waste water
磷酸廢液
SW
Stripper Waste water
剝離液廢液
TW
Thinner Waste water
清洗廢液
PIX
Pix waste water
PIX
廢液
SLOW
Oxide slurry waste water
介電質研磨廢水
SL
WP
Metal slurry
waste water
金屬研磨廢水
SL
WP
Poly slurry
waste water
多晶硅研磨廢水
PN2
Process N2
製程用氮氣
GN2
General N2
一般用氮氣
CDA
Compressor
Dry Air
壓縮乾燥空氣
VMB
Valve Manifold Box
閥箱
空調系統
AHU
Air Handling Unit
空调箱
MAU
Make-up Air Unit
外气空调箱
VAV
Variable Air Volume box
可变风量风箱
FFU
Fan Filter Unit
风车过滤器
HEP
A
High
Efficiency Particulate Filter
高效率过滤器
ULP
A
Ultra Low
Penetration Filter
超高效率过滤器
A/S
Air Shower
空气浴尘室
CUP
Central Utility Plant
中央動力廠房
電力系統
FMCS
Faility Monitoring Control
System
廠務監控系統
MCC
Motor Control Center
馬達控制中心
VFD
Variable Frequency Device
變頻器
CCTV
Close Circuit
T
elevsion
閉路電視
SCADA
Supervisory Control
And
Data
Acquisition
监视控制和数据搜集系
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