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生产车间防静电技术要求
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版本号
2/
15
1
范围
本标准规定了本公司生产车间静电防护的技术要求；
本标准适用于本公司产品生产、物料存放、试验现场的防静电控制。
2
术语
2.
1
防静电工作区（
EPA
）
配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记
且满足防静电要求，
为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称，
如有静电敏感元器件和组装件
操作的生产区和物料存放区域。
2.2
硬接地（
hard
ground
）
直接与大地电极做导电性连接的一种接地方式。
2.3
软接地（
soft
ground
）
通过一足以限制流过
物体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。
2.4
大地电极
(earth
electrode)
埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。
他可以是杆状的、
板状的或网状的，
为接地
系统提供接大地的基准点。
2.5
静
电耗散材料（
dissipative
materials
）
其表面
电阻率等于或大于
1
×
10
5
Ω
，
但小于
1
×
10
12
Ω
；
或体积电阻率等于或大于
1
×
10
4
Ω
?
cm
，
但小于
1
×
10
11
Ω
的材料。
3
一般要求
3.1
防静电标记符号
在防静电工作区应在明显的位置贴静电防护标志，如图
3-1
3-1
静电防护标志
3/
15
3.2
工作人员在进入防静电工作区
时，须穿戴好防静电工作服、工作鞋。
3.3
工作人员对静电敏感元器件、组装件进行操作时，须戴好
ESD
防护腕带，并测试合格。
3.4
指定人员定期测量并记录车间环境条件。
4
详细要求
4.1
气候与环境条件
4.1.1
温度
EPA
内应装有温度调节装置，
以维持其室
温在
25
±
5
℃，
采用准确度优于±
2
℃的温度计测
量
EPA
的室温，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表
见附表
1
4.1.2
湿度
EPA
内应装有湿度调节装置，
以维持室内相对湿度在
30~70%RH
范围内。
采用准确度优于
±
2%
的湿度计测量
EPA
内的湿度，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表见附表
1
4.1.3
洁净度
保持生产现场干净、整洁。
4.1.4
静电消除器
在对静电敏感元器件或组装件操作的工作台上，
应装设静电消除器
（离子风机等）
，
以消除未打
开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其他物品相互摩擦在工件上产生的静电荷。
< p>静电消除器应能消除任何一种极性的电荷，并在其有效防护区域内使静电位保持在规定值以内，中< /p>
和能力应优于±
250V/s
。
4.2
接地
EPA
内应有满足使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极
分系统接到大地。
4.2.1
防静电接地分系统
EPA
的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地板防静电接地和
操作装置、仪器的防静电接
地等，连接方式如图
4-1
。除个别指明需采用硬接地外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外界
4/
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电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。
4.2.2
接地安装注意事项
防静电接地分系统最好与电源地等其它分系统各自独立；防静电工具、装置等的接地端子允许<
/p>
使用易于拆卸的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插针等，但应确保电气连接可靠。
接地主干线截面积应不小于
100mm
2
；支干线截面积应不小于
6mm
2
；设备和工作台的接地线应
采用截面积不小于
1.25mm
2
的多股敷塑导线，接地线颜
色应和操作现场其它电源线等的颜色有较大
区别。
4.3
各种器材、用具的静电性能
4.3.1
测量仪器
EPA
相关设施安装完成后应定期对其进行检测，并记录检测结果（
检测记录表见附表
2
）
，接地
系统的测量仪器的量程应为
0~10
11
Ω
，测量电极为圆柱形，直径
50mm
，重量
2kg
。仪器的输入和输
出线与两电极通过鳄鱼夹、连接器等便于拆卸的方式连接，测量时施以
500
V
电压。
4.3.2
ESD
防护工作台面
除非制造工艺要
求要使用导（静）电工作台面，
EPA
内的工作台面应使用静电
耗散材料制成并
接地良好。
ESD
防护
工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表
1
。对地电
阻测量时，将
测量仪器的一端接到工作台与地线的连接线上，另一个电极测量五个点取平
均值（如图
4-2
）
。表面
（点对点）电阻测量时，两测试电极相距
0.9m
，测量五组数据取平均值，测量时一电极不动，另一
5/
15
电极以
0.9m
的半径绕固定的电极旋
转移动（如图
4-3
）
4.3.3
ESD
防护地面
除非制
造工艺要求需要使用导（静）电地面，
EPA
内应采用静电耗散
地板、地垫或喷涂防静电
漆，并良好接地，其对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表<
/p>
1
。对地电阻测量时，仪器一个电极
接防
静电接地分系统，
另一电极放置在防静电地面上，
取房间不同位
置测量并取平均值
（如图
4-4
）
；
6/
15
表面
（点对点）电阻测量时，一个电极固定，另一个电极以
0.9m
为半径取
5
个测量点，并取平均值
（如
图
4-5
）
。
表
1
EPA
内各种器材的静电性能要求
穿
戴
状
态
器材名
称
章条号
表面（点对点）电
ESD
防护工作台
ESD
防护地面
ESD
防护腕带
4.3.2
4.3.3
4.3.4
阻（
Ω
）
电阻（
Ω
）
7.5
×
10
5
~1.0
×
10
10
7.5
×
10
5
~1.0
×
10
9
1.0
×
10
5
~1.0
×
10
10
1.0
×
10
5<
/p>
~1.0
×
10
9
7.5
对地电阻（
Ω
）
下
的
对
地
说
明
/
/
×
10<
/p>
5
~3.5
×
1
0
7
/
/
7
.5
×
10
5
~1.0
×
10
10
< br>
/
7.5
×
10
5
~5.0
×
10
6
/
/
内表面对电缆
扣
腕带连线端对
端
/
7.5
×
10
5
~1
.0
×
10
9
物流车、存放架
4.3.5
7.5
×
10
5
~1.0
×
10
10
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