hollywoodSEM操作手册

2021年1月21日发(作者：道歉)
扫描电镜基本操作步骤和注意事项


一、基本操作步骤：

1.
块状样品尺寸不宜过大
（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，
不能想当然）
，
用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳 球
吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。

2.
测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。实验完毕后将拖鞋放回鞋架。

3.
观察屏幕右下角
“
Status
”
栏里的参数是否正 常，尤其是
Emission
Current
值是否正
常。测试前应在SEM
记录本上记录
IGP1
、
IGP2
和
Emiss ion
Current
的值。每次
实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数 量，测试人姓名，仪器是否正常。

4.
未测试前系统处于
“
P< br>ump”
状态
（黄色）
，
按
“
V
ent”< br>键往样品室充高纯氮气
（变黄色）
，
约
2
分钟后
“< br>V
ent”
键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上
联系 管理人员）
。

5.
将附有样品的铝台，
用洗耳球吹洗干净，并放入。
放臵样品时切忌对着样品室说话，
并且样品室的门不能开着太久，
以保证 样品室的清洁。
（正常的操作：
右手握住带有
样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样 品放臵在支架（
Holder
）上，并立刻用左
手
“
轻推
”
，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接
触时过大的撞击，一直 到门和电镜完全接触）

6.
放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指 放在门上接触边缘缝隙处，
左手点击
“Pump”
，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说 明泵抽气正常。
鼠标左键选中
左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体 情况，控制样品
台和极靴之间的距离（
Work Distance, WD
）
，
Work Distance
不能小于
6mm
。等 待
操作界面右下角
“Chamber Presure”
真空优于
8*10-3 Pa
时，设臵好高压和
Spot
的
值，方可点击
“High Voltage”
加上高压。

7.
鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”
钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适
大小的区域聚焦和消像散。聚焦：按 鼠标右键左右拖动至最清晰的位臵。消像散：
等聚焦好后，
按住
Shift
键 并按下鼠标右键上下左右调至图像最清晰。
左手放在小键
盘
“
-
，< br>+”
键上，
以便及时的放大缩小图像。
每次聚焦图像清晰后，
都必须点 击
“
Link Z

to
FWD
”
按钮，
建立
Z
轴高度与焦距的关联（点击该键后，如果在
CCD
窗口
拉动 样品的高度，则在扫描窗口下端任务栏里的
WD
值随之变化，如果不点
击该键，则WD
值不懂，无法判断高度；每次聚焦后都必须点击该键）
。按
“Snapsho t”
钮拍照（根据需求加大或者减小拍照速度）
。将照片存储在
support
机自
己的文件夹下（刚开始点
“Save as”
时，可能相应很慢，需耐心等待）
。
F
5
键切换窗
口最大
/
还原。

8.
做完测试后，点击
“
V
ent”
等大约
2< br>分钟后该按钮从黄色变灰色，轻轻拉开门取出样
品，
并关闭门，
按
Ct rl+0
键将
Stage
移至中心
，
点击
“Pump”。
最后做完测试的同志，
务必使样品室处于
“Pump”
状态。

9.
一周内至少打扫卫生（拖地、桌面清理、整理工具耗材）一次以上，望同志们主动。

10.
实验过程遇到问题，应马上通知管理老师，切忌自行解决。

11.
操作
STEM
：必须熟练使用
SEM
基础上方可使用。做完
STEM
后，务必将状态调
节到
SEM
模式。首先，换成
mode1
，如果该模式是
SEM
模式，就可以关高压，
放气，
如果是
STEM
模式，
则先更换成
SEM
模式，
并且确认探头是否为
ETD
探头
（在
Detectors
菜单更改）

二、注意事项：

1.
制样品时，要保证被放入样品室的样品干燥、清洁， 尤其不能附带油性物质，不能
用手直接触摸样品或者镊子夹样品端。长时间使用，铝台较脏，则应用乙醇 或丙酮
超声处理清洗铝台。

2.
保证手没有直接碰触放入
SEM
系统的任何样品、配件（手上油脂影响真空）
。

3.
每次制样完毕，收拾制样桌面，并把工具和实验耗材放回原处。

4.
进入
SEM
室时，随时关门。

5.
拒绝测试磁性样品， 如组里必须，则应与管理老师联系，只能使用第一个模式，切
忌用第二个模式（该
模式下，磁场 很强
，容易把样品吸到样品的镜筒里面）
；且磁性
样品制作时，要尽可能的让其粘结牢 固，比如粉末样品，用氮气枪吹掉粘结不牢的
粉末。

6.
外课题组组成员不能独立使用电镜，如要测试，让其找组里成员代测。

7.
每个小课题组有
SEM
操作经验的同学负责培训本课题组新加盟的成员，
直到新成员
能独立使用
SEM
，并经过
管理人员的考核
（如果不合格，管理者应 指导学生，直到
该学生具备独立操作能力）
，才可让其独立操作。

8.
为了电镜室更加洁净，进电镜室请更换拖鞋。

9.
“
V
ent”
后，如果打不开
”
C
hamber”
的门，切忌用力拉，应 确认是否还有足够的氮气。
如果氮气压力不够，联系管理人员，切忌自己操作减压阀。

10.
做
STEM
时，务必带一次性手套，需要适当的固定样品，注意销钉 不要太紧，取出
样品时，要先松开销钉，再取样品。

11.
样品放入chamber
后，轻轻推门至接触，应将手指放在接触的缝隙，确保
chamber密闭，方可点击
“pump”
。

12.
做好样品，
vent
后，取出样品，再抽真空（
Pump
）
，并把
Stage< br>移到正中间，务必
确认抽上真空方可离开（点击
Pump
后，观察无异常后方可 离开）
。

13.
离开前，务必检查水、电、门、窗。